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时间:2025年02月11日 来源:

    4.安装挂钩,5.吊环,6.支撑板,7.耐酸胶带,8.侧定位板,9.待加工玻璃板。具体实施方式下面结合附图,详细描述本实用新型的具体实施方案。如图1-3所示,超薄玻璃减薄蚀刻用安装定位装置,包括可拆卸地设置在蚀刻篮具1中用于在玻璃板装入时支撑玻璃板下部的且在玻璃板9安装后拆除的底部支撑块2、蚀刻篮具1中在对应于玻璃板上方可拆卸地设有支撑横梁3,支撑横梁3上对应于各个玻璃板的位置都设有安装挂钩4,安装挂钩4上设有吊环5,吊环5上设有支撑板6,支撑板6与待加工玻璃板间距为15-25mm。支撑板6设有供吊环5穿过的定位孔,支撑板6通过耐酸胶带7与玻璃板9连接,所述胶带7为粘度>200g且在15%氢氟酸溶液中浸泡3小时以上不发生脱落的耐酸胶带7。耐酸胶带7一端贴于玻璃板一侧侧面另一端绕过支撑板6上部后贴于玻璃板另一侧面,且连接时使得支撑板6上安装孔在对应于玻璃板9的中轴线的位置处,蚀刻篮具1中在对应于玻璃板两侧位置分别设有侧定位板8,侧定位板8上设有用于定位玻璃板侧面的定位槽,玻璃蚀刻前插篮定位包括以下步骤:玻璃放入篮具前的准备动作,将玻璃板9与支撑板6通过耐酸胶带7连接,使用辅助治具,确保支撑板6固定孔在玻璃重心的对称中轴线上。使用减薄用清洗剂的需要什么条件。宁波国产减薄用清洗剂厂家现货

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    并控制磁转子12和喷头11每间隔20s旋转10s,也就是说,控制磁转子旋转10s,控制磁转子停止旋转后,控制喷头喷涂抛光液10s,停止喷涂抛光液10s后,控制磁转子旋转10s,以此类推。本发明实施例中,控制部件在脉冲工作模式下,实现减薄和抛光两种工艺交替作用,使得减薄和抛光一体化完成,整个过程稳定,速度快,控制性好,重复度高,无粉尘污染,衬底减薄终厚度达到20μm,抛光面ra<2nm。还需要说明的是,本发明实施例中,在减薄的过程中,可以不断更换磁转子12,如磁转子12工作1小时后,将磁转子12更换为新的磁转子,以使磁转子与待加工表面贴合紧密,避免了传统减薄工艺中由于转子形变误差造成的加工精度失真。此外,本发明实施例中,在完成抛光和减薄后,可以采用直链烷基苯磺酸盐溶剂对待加工部件20进行清洗,用di水冲洗干净,40℃的氮气吹干。之后,将清洗后的待加工部件20和托盘10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盘10自动分离,取出待加工部件20后清洗干净即可。本发明实施例还提供了一种抛光减薄方法,如图5所示,包括:s101:将待加工部件固定在托盘上,待加工部件包括inp基晶圆;可选地。哪里可以买到玻璃清洗剂;嘉兴哪家公司减薄用清洗剂商家

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