深圳哪家蚀刻液蚀刻液生产

时间:2023年09月12日 来源:

    如上所述的挡液板结构,其中宣泄孔的孔径小于3毫米(millimeter,mm)。如上所述的挡液板结构,其中宣泄孔为千鸟排列或矩阵排列等其中的一种排列方式。如上所述的挡液板结构,其中宣泄孔为直通孔或斜锥孔等其中的一种态样或两者的混合。如上所述的挡液板结构,其中宣泄孔具有一***壁面,以及一第二壁面,且第二挡板具有一下表面,当宣泄孔为斜锥孔态样时,***壁面与下表面的***夹角不同于第二壁面与下表面的第二夹角。如上所述的挡液板结构,其中当宣泄孔为斜锥孔态样时,宣泄孔的上孔径与下孔径不相等。如上所述的挡液板结构,其中当宣泄孔为斜锥孔态样时,宣泄孔的上孔径小于下孔径。如上所述的挡液板结构,其中当宣泄孔为斜锥孔态样时,宣泄孔由第二挡板的下表面朝向上表面的方向渐缩。此外,为了达到上述的实施目的,本实用新型另提出一种蚀刻设备,设置于一湿式蚀刻机的一槽体内,蚀刻设备至少包括有一如上所述的挡液板结构、一基板、一输送装置,以及一风刀装置;基板设置于挡液板结构的下方;输送装置设置于基板的下方,输送装置包括有至少一滚轮,其中滚轮与基板接触以运行基板;风刀装置设置于挡液板结构的一端部,风刀装置包括有一设置于基板上方的***风刀。质量好的蚀刻液的公司联系方式。深圳哪家蚀刻液蚀刻液生产

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    提高反应体系的稳定性。当体系中加入过氧化氢后有助于提高过氧化氢的稳定性,避免由于过氧化氢分解而引发的,提高生产的安全性。具体实施方式下面结合实施例,对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。一种酸性铜蚀刻液的生产工艺,所述工艺包括以下步骤:第一步:将纯水进行低温处理,使纯水温度≤10℃在纯水罐中备用;纯水罐中设有通过电路控制的电磁阀,当纯水温度高于10℃时,电磁阀无法打开。第二步:配制和准备原料,将亚氨基二乙酸、氢氟酸和乙醇酸分别投入对应的原料罐中,经过过滤器循环过滤,备用;将hno3、四甲基氢氧化铵、h2o2分别投入对应的原料罐,备用。亚氨基二乙酸、氢氟酸和乙醇酸需要稀释后使用,hno3、四甲基氢氧化铵、h2o2无需调配可直接用于制备蚀刻液。第三步:根据混酸配制表算出各个原料的添加量,按照纯水→亚氨基二乙酸→氢氟酸→hno3→四甲基氢氧化铵→乙醇酸的顺序依次将原料加入调配罐,将上述混料充分搅拌,搅拌时间为3~5h。第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,继续搅拌混匀,搅拌时间为3~5h,用磁力泵将混合液通过过滤器循环过滤。深圳哪家蚀刻液蚀刻液生产蚀刻液公司的联系方式。

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    使硝酸钾储罐21和其它储罐的内部形成一个密闭的空间,避免环境外部的杂质进入储罐内,有效的提高了装置使用的密封性;紧接着,将磷酸与醋酸在个搅拌仓23中充分搅拌混合均匀,然后在第二个搅拌仓23中与硝酸充分搅拌混合均匀后,再进入配料罐中混合,将阴离子表面活性剂和聚氧乙烯型非离子表面活性剂在第三个搅拌仓23混合后再进入第四个搅拌仓23中,与氯化钾、硝酸钾、去离子水一起在第四个搅拌仓23中混合均匀,然后过滤后封装,先检查过滤板26进行更换或安装,过滤部件9的内部两侧嵌入连接有过滤板26,常规的生产方法是将蚀刻液中的各组份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蚀刻液杂质含量多,过滤板26能将蚀刻液内部的杂质进行过滤,使制备出的蚀刻液的杂质被过滤板26过滤出,得到不含杂质的蚀刻液,避免多种强酸直接共混有效的减小了蚀刻液制备的安全隐患;,通过过滤部件9将蚀刻液进行过滤,过滤部件9设置有一个,过滤部件9设置在连接构件11的内侧,过滤部件9与连接构件11固定连接,过滤部件9能将制备出的蚀刻液进行过滤,且过滤部件9能将内部的过滤板26进行拆卸更换,将过滤部件9的内部进行清洗,在将过滤部件9进行连接安装时,将滑动盖24向外侧滑动。

    蚀刻液也可含有α-羟基羧酸和/或其盐。α-羟基羧酸及其盐具有作为钛的络合剂的效果,可抑制蚀刻液中产生钛的沉淀。作为所述α-羟基羧酸,例如可举出酒石酸、苹果酸、柠檬酸、乳酸及甘油酸等。α-羟基羧酸和/或其盐的浓度并无特别限制,从络合效果及溶解性的观点来看,推荐为%至5重量%,更推荐为%至2重量%。另外,蚀刻液也可含有亚硫酸及/或其盐。亚硫酸及其盐具有作为还原剂的效果,可提高钛的蚀刻速度。亚硫酸和/或其盐的浓度并无特别限制,从还原性及臭气的观点来看,推荐为%至%,更推荐为%至%。蚀刻液中除了上述的成分以外,也能以不妨碍本发明效果的程度添加其他成分。作为其他成分,例如可举出表面活性剂、成分稳定剂及消泡剂等。蚀刻液可通过使所述各成分溶解于水中而容易地制备。作为所述水,推荐为将离子性物质及杂质除去的水,例如推荐为离子交换水、纯水、超纯水等。蚀刻液可在使用时将各成分以成为预定浓度的方式调配,也可预先制备浓缩液并在即将使用之前稀释而使用。使用本发明的蚀刻液的钛的蚀刻方法并无特别限制,例如可举出:对含有铜及钛的对象物涂布或喷雾蚀刻液的方法;将含有铜及钛的对象物浸渍在蚀刻液中的方法等。处理温度并无特别限制。如何正确使用蚀刻液。

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    可以维持合适的蚀刻速度且提高sin/sio2选择比。(b)硅烷系偶联剂本发明的蚀刻液组合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶联剂作为防蚀剂可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化时使用。上述硅烷系偶联剂推荐使上述硅烷系偶联剂的反应位点(activesite)的数量除以上述硅烷系偶联剂的水解(hydrolysis)了的形态的分子量之后乘以,更推荐满足。上述硅烷系偶联剂推荐按照蚀刻液组合物的蚀刻程度(etchingamount,e/a)满足以上以下的范围的浓度来添加。上述硅烷系偶联剂推荐为选自由原硅酸四乙酯(tetraethylorthosilicate)、双(三乙氧基甲硅烷基)甲烷(bis(triethoxysilyl)methane)、双(三乙氧基甲硅烷基)乙烷(bis(triethoxysilyl)ethane)、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇((triethoxysilyl)methanol)和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷((triethoxysilyl)methane)组成的组中的一种以上,更推荐为选自由双(三乙氧基甲硅烷基)甲烷、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷组成的组中的一种以上,**推荐为(三乙氧基甲硅烷基)甲烷和/或(三乙氧基甲硅烷基)甲醇。相对于组合物总重量,上述硅烷系偶联剂的含量为~10重量%,推荐为~%。什么制程中需要使用蚀刻液。扬州哪家蚀刻液蚀刻液销售公司

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    以带动该基板20由该喷洒装置50下端部朝向该风刀装置40的该***风刀41下端部的方向移动。该风刀装置40设置于该挡液板结构10的一端部,该风刀装置40包括有一设置于该基板20上方的***风刀41,以及一设置于该基板20下方的第二风刀42,其中该***风刀41与该第二风刀42分别吹出一气体43至该基板20,以将该基板20上的一药液51带往与相反于该基板20的行进方向,以使该基板20上该药液51减少,其中该气体43远离该***风刀41与该第二风刀42的方向分别与该基板20的法线方向夹设有一第三夹角θ3,且该第三夹角θ3介于20度至35度之间。此外,请一并参阅图8与图9所示,为本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图,以及宣泄孔的表面张力局部放大图,其中该宣泄孔121为直通孔的态样,当该风刀装置40的***风刀41与该第二风刀42为了减少该基板(本图式未标示)上所残留的药液51而吹出该气体43时,该气体43碰到该挡液板结构10后部分会往该复数个宣泄孔121流动,并朝向该第二挡板12的该上表面123宣泄而出(如图8所示),除了保有原有挡液板的防止该药液51喷溅而造成的蚀刻不均现象,亦可达到以破真空的原理避免该气体43在该基板20附近形成涡流而造成真空吸引问题;此外。深圳哪家蚀刻液蚀刻液生产

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