手套箱如何影响半导体芯片的光刻工艺？

米开罗那（上海）工业智能科技股份有限公司2024-08-28

在半导体芯片制造的光刻工艺中，手套箱通过有效控制湿度和微尘，为光刻胶的涂覆和曝光提供稳定、洁净的条件。这种环境控制对于提高芯片的光刻精度和良品率至关重要，因为任何微小的尘埃或湿度波动都可能影响光刻质量。

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简介：米开罗那（上海）工业智能科技股份有限公司成立于2004年，专注于研发、生产和销售手套箱设备。

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