实验室手套箱与半导体产业发展有什么关系

米开罗那（上海）工业智能科技股份有限公司2024-12-13

实验室手套箱在推动半导体材料研发方面，为科研人员提供了理想的实验平台；在新型半导体材料探索研发中，实验室手套箱的无水无氧环境对材料的成功制备和性能研究起关键作用，加速了研发进程；实验室手套箱与光刻机、蒸镀机等制造设备协同配合，促进半导体制造工艺升级，如在光刻工艺中提供洁净环境提高光刻精度和良品率，在薄膜沉积过程中保证沉积材料纯度和均匀性提升薄膜质量。

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