无锡NEODRY 36E干式真空泵维修

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干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；4）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。5）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

罗茨泵和干式螺杆泵的对比

罗茨泵罗茨泵是靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。罗茨泵无内压缩，因此它不可以单独抽气，需配备前级泵使用。

罗茨泵的特点：启动快，能耗少，低运行和低维护成本，抽速大、效率高，并且对泵送气体中含有的少量水蒸气和灰尘不敏感。

罗茨泵和干式螺杆泵，二者相似的地方主要体现在应用领域上，它们都可以用在真空冻干、电力电子行业、光伏太阳能、薄膜蒸发、抽高温气体、抽蒸汽、单晶硅、灯泡灯管制造（气体置换）、焊接炉、核能工业、化工、金属工业等工业领域中。 浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供干式真空泵的公司，欢迎您的来电哦！

有点真空泵不能在大气压下工作 ，需要预真空；有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，他能是真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多凝性气体的系统。无油涡旋真空泵选型。无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少，由于压缩腔容积的变化是连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化小,振动噪声低，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。浚和(上海)仪器有限公司为您提供干式真空泵。深圳樫山干式真空泵授权代理

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评价爆裂有两个指标：可燃物质的闪点及燃点 。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦，所以不会产生电火花，就没有了火源，另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到，从而杜绝爆裂！泵内既无与外界之间的轴封又无泵腔与冷却循环水回路之间的密封，因此可以抽除有害介质。绝大部分泵的故障都是由轴封处磨损造成的,而此泵每个轴只有一处无接触密封，不存在由轴封损伤带来的停机，以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里，造成真空环境及排气口污染。无锡NEODRY 36E干式真空泵维修

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