湖南高温无氧烘箱安装要求

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

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DNN430C/630C/460C/660C 厌氧高温气氛炉（YAMATO）

      氧浓度20ppm、MAX工作温度600℃的气氛炉，适用于无氧环境下的高温热处理。

特点：

      ● MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度低于20ppm，主要应用于电子元件退火、LTCC去除、玻璃基板退火、陶瓷脱脂等。

      ● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量低。

      ● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

      ● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

      ● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

      ● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

      ● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置。 广东高温无氧烘箱品牌高温无氧烘箱，就选浚和(上海)仪器有限公司，让您满意，欢迎您的来电！

烘箱安装要求及检查调整

1、安置地点要求：

①地面须水平

②通风须良好，落尘量较少

③不要放置在潮湿地方

④不要暴露在易燃或腐蚀性气体下（特殊烤箱除外）

⑤尽可能使可燃物远离

⑥环境温度匆过高

2、安置间隔要求：

①理想操作环境机身各方距墙60公分以上

②理想操作环境机身与机身间隔60公分以上

3、电源安装要求：

①请依电器铭板上所订之电源规格接电

②电压变动率必须在额定值±5%内

③为避免电击意外发生，机台本身必须接地（依电工法规第三种接地法实施对地电阻100Ω以下）

④不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接线线路

4、水平调整：

①机台定位后，须调整水平

5、电源接线：

机台定位完成后，可由机台后方电源电缆线，并依接线端子板上之标示规格完成电源接线之工作

6、送风马达调整

三分钟掌握气氛炉的注意事项

      1、除了做实验外，不要停留在高温炉管区。

      2、实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2运动，炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。

      3、处理氢氟酸时，请戴手套，如不小心碰到氢氟酸时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%水，揉擦伤处15’。

      4、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。

      5、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。

      6、氰化钾不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之氰化钾气体。

      7、一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员。

      8、操作气氛炉的时候，请节约纯水用量。

      9、破晶片、滤纸、棉花棒等，请匆掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。

      10、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。

      11、晶片进出炉口时，请匆碰触炉管口，以免污染炉管。 浚和(上海)仪器有限公司致力于提供高温无氧烘箱，欢迎新老客户来电！

充氮烘箱的氮气接口使用方法

      充氮烘箱分为：鼓风式和真空式两种

      鼓风式充氮气一般需要箱体满焊确保氮气损耗快，在烘箱上配一个氮气快插接口，用于快速连接氮气管路，如果避免氮气快插接口有漏气问题，氮气入口处有蓝色密胶圈，管子伸进去后把密胶圈往外拉一下确保密封。

      真空式充氮气一般都用类似煤气阀的手动阀门，向外的一头就是用于连接氮气管子的快插接口，，氮气入口处有蓝色密胶圈，管子伸进去，使用时打开阀门即可。

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无氧烘箱适用范围

      无氧化烘箱在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2或者N2,形成高温、低氧（无氧）或者洁净环境（无氧洁净烤箱），防止材料在烘烤时被氧化。适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理；封装测试；光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜；银浆固化、模后固化、电镀退火；基板除潮、晶圆干燥退火等。广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。 湖南高温无氧烘箱安装要求

浚和（上海）仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商，致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来，持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。

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公司主要经营产品包括：等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等，目前主要合作品牌有：日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时，公司还提供专业的技术服务，如设备的维护、验证等。

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