YAMATO高温无氧烘箱高性能高效

C1-007厌氧高温气氛炉（YAMATO）

●用途：电子元器件高温处理工艺。

●用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异

●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围室温：+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温+50～600℃ 规格参数：

温度范围室温：室温+50～600℃

温度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

温度上升时间：90min（室温→600℃）

温度下降时间：120min（600℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

浚和(上海)仪器有限公司致力于提供高温无氧烘箱，期待您的光临！YAMATO高温无氧烘箱高性能高效

无氧化烘箱的安全操作规程

      无氧化烘箱是一种新型厌氧电热真空干燥箱设备，其通过氮气孔注入氮气挤出箱内空气再加热从而形成真空无氧化环境下高温干燥的要求。我们来看看他的安全操作规程：

      1、无氧化烘箱通电前应检查电源线路绝缘应良好，不准有漏电。加热器电阻丝之间不得有碰触，以防短路。

      2、无氧化烘箱通电前应打开排气阀门。

      3、使用非防爆电烘箱，严禁带挥发性的物件进入烘箱内。

      4、随时观察并调整箱内温度，应符合烘件工艺要求的温度。

      5、无氧化烘箱要保持烘箱内清洁，检查和擦除烘箱内电阻丝旁的氧化皮。

      6、切断电源，关闭烘门。

  以上便是关于无氧化烘箱的的安全操作规程的分享了，希望对大家今后使用本设备能有帮助。 北京高温无氧烘箱加热管的选择浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供高温无氧烘箱的公司，期待您的光临！

无氧烘箱与普通工业烘箱的比较

      无氧烘箱应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

一、无氧烘箱与普通工业烘箱在结构上的区别

      无氧烘箱会对内箱进行满焊，同时做密封处理，这样充入的惰性气体就不会泄露，同时保证了内部的无氧环境。而普通烘箱内箱虽然也是满焊，但是没有做密封处理。

二、无氧烘箱与普通工业烘箱在控制系统上的区别

      无氧烘箱需要增加氮气控制系统，同时需要有延时加热功能，就是说在加热之前进行延时充氮，以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境，避免高温氧化。当然，一些其他的控制技术包括双流量充氮省能源控制等方式也被许多用户采纳，即双流量+延时加热，大流量氮气充入，延时加热，当箱内充满氮气后，自动切换为小流量以此节省氮气。 而普通烘箱则没有这些功能。

无氧化烘箱主要是起到保护的作用的

      无氧化烘箱等干燥设备都有保险丝之类的系统，是起到保护作用的，在使用过程中，若是真空烘箱的使用频率过高或者温度过高的话，保险丝起着保护电路的作用就会自己熔断，遇到过这样的问题，您只需将新的更换好就行。不是质量问题，在使用时要设定好温度，不要过高，建议在使用的量程之内，使用温度过高不单会影响干燥箱的寿命，也会带来其他的麻烦。

      无氧化烘箱在真空泵前级加装了冷凝器，水蒸汽通过冷凝器后，一部分水蒸汽被冷凝成水的液体，剩下少部分水蒸汽被真空泵抽走。随着时间增加，如果抽取的水蒸汽过多，真空泵中的油在约30天左右会被卤化，用户可以根据使用情况按需要更换它。

    无氧化烘箱为整体隧道式结构。层流循环短时间灭菌方式，分为预热区、热风循环烘箱高温灭菌区和冷却区三部分。由机架、过滤器、加热装置、冷却装置、风机、传动装置、不锈钢传送网带及电气控制柜等部件组成。无氧化烘箱为单独结构，被安装在离烘箱不远的墙边烘箱的上部有层流箱；中部有预热区、加温区、冷却区连接而成的箱体；无氧化烘箱的下部装有传动装置、排风装置和电气端子柜预热区由送风机、抽湿风机、手动调节风门、中效过滤器和过滤器等组成。 高温无氧烘箱，就选浚和(上海)仪器有限公司，有需要可以联系我司哦！

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供高温无氧烘箱的公司，有想法的可以来电咨询！高性能高效高温无氧烘箱加热功率

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DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

■特点：

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

■安全性：

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。

YAMATO高温无氧烘箱高性能高效

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公司主要经营产品包括：等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等，目前主要合作品牌有：日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时，公司还提供专业的技术服务，如设备的维护、验证等。

浚和仪器将始终以行业特点为立足点，以客户需求为导向，不断地提高自身专业技术能力，不停地完善客户服务质量，在发展中保持创新的精神，力求与客户共同进步，为行业的发展作出不懈的努力。