二维轮廓仪特点

如何正确使用轮廓仪

准备工作

1.测量前准备。

2.开启电脑、打开机器电源开关、检查机器启动是否正常。

3.擦净工件被测表面。

测量

1.将测针正确、平稳、可靠地移动在工件被测表面上。

2.工件固定确认工件不会出现松动或者其它因素导致测针与工件相撞的情况出现

3.在仪器上设置所需的测量条件。

4.开始测量。测量过程中不可触摸工件更不可人为震动桌子的情况产生。

5.测量完毕，根据图纸对结果进行分析，标出结果，并保存、打印。

轮廓的角度处理:  

角度处理：两直线夹角、直线与Y轴夹角、直线与X轴夹角点线处理：两直线交点、交点到直线距离、交点到交点距离、交点到圆心距离、交点到点距离圆处理：圆心距离、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离、直线到切点的距离线处理：直线度、凸度、LG凸度、对数曲线

几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和集体，特征图形的位置和数量等）。二维轮廓仪特点

轮廓仪的**团队

夏勇博士，江苏省双创人才

15年ADE，KAL-Tencor半导体检测设备公司研发、项目管理经验

SuperSight Inc. CEO/共同创始人，太阳能在线检测设备

唐寿鸿博士，国家千人****

25年 ADE，KAL-Tencor半导体检测设备公司研发经验

KLA-Tencor ***研发总监，***图像处理、算法**

许衡博士，软件系统研发

10 年硅谷世界500强研发经验（BD Medical

Instrument）

光学测量、软件系统

岱美仪器与**组为您提供轮廓仪的技术支持，为您排忧解难。 光刻机轮廓仪免税价格物镜是轮廓仪****的部件， 物镜的选择根据功能和检测的精度提出需求。

轮廓仪产品应用

蓝宝石抛光工艺表面粗糙度分析（粗抛与精抛比较）

高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探测

Oled 特征结构测量，表面粗糙度  

外延片表面缺 陷检测

硅片外延表面缺 陷检测

散热材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）

生物、医药新技术，微流控器件

微结构均匀性 缺 陷，表面粗糙度

移相算法的优化和软件系统的开发 本作品采用重叠平均移相干涉算法，保证了亚纳米量级的测量精度；优化软件控制系统，使每次检测时间压缩到10秒钟以内，同时完善的数据评价系统为用户评价产品面形质量提供了方便。

    filmOnline查film3D图像並与其互动.请参考我们新型光学轮廓仪!film3D使得光学轮廓测量更易负担***，表面粗糙度和表面形貌测量可以用比探针式轮廓仪成本更低的仪器来进行。film3D具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率,film3D同样使用了现今比较高 分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。索取技术资料索取报价这就是您需要的解析力Thefilm3D的直观软件包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量。在数秒内，您可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。***!**的网路3D影像浏览/分析filmOnline可存储、共享、查看与分析来自您的光学轮廓仪或3D显微镜之3D影像。任何台式电脑，平板电脑或智能手机上都能查看和操作。享受***的图像分析功能，包括表面轮廓（粗糙度）和阶高 分析。其他轮廓仪列为选备的功能已经是我们的标准配备为什么需要额外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已标配自动化X/Y平台包含tip/tilt功能。以我们的阶高标准片建立标准每film3D配备了一个10微米阶高标准片，可达％准确度。另我们还提供具有100nm，2微米以及4微米等多阶高标准片。轮廓仪可用于蓝宝石抛光工艺表面粗糙度分析（粗抛与精抛比较）。

NanoX-系列轮廓仪代表性客户•集成电路相关产业–集成电路先进封装和材料：华天科技，通富微电子，江苏纳佩斯半导体，华润安盛等•MEMS相关产业–中科院苏州纳米所，中科电子46所，华东光电集成器件等•高效太阳能电池相关产业–常州亿晶光电，中国台湾速位科技、山东衡力新能源等•微电子、FPD、PCB等产业–三星电机、京东方、深圳夏瑞科技等具备Globalalignment&Unitalignment自动聚焦范围：±0.3mmXY运动速度**快如果有什么问题，请联系我们。轮廓仪对载物台xy行程为140*110mm（可扩展），Z向测量范围比较大可达10mm。微纳米结构和加工仪器轮廓仪自动化测量

轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品，轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状。二维轮廓仪特点

仪器仪表是用以检出、测量、观察、计算各种物理量、物质成分、物性参数等的器具或设备。真空检漏仪、压力表、测长仪、显微镜、乘法器等均属于仪器仪表。近年来，得益于机械、冶金、石化行业等仪器仪表服务领域经营状况的好转，我国仪器仪表制造业发展一路向好。随着互联网的逐步发展，为半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪等产品的传播提供了一个飞速的平台。让仪器仪表行业从传统的销售模式到以互联网电子商务为主的营销方式的转变，促进了仪器仪表行业与互联网的结合，推动产业创新发展。磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 产品普遍运用于工业、农业、交通、科技、环保、**、文教卫生、大家生活等各个领域，在旺盛市场需求的带动下和我国宏观调控政策的引导下，我国仪器仪表行业的发展有了长足的进步空间。从贸易广义角度来说，仪器仪表也可具有自动操控、报警、信号传递和数据处理等功能，例如用于工业生产过程自动操控中的气动调节仪表，和电动调节仪表，以及集散型仪表操控系统也皆属于仪器仪表。二维轮廓仪特点