Nano X-2000轮廓仪轮廓测量应用

轮廓仪白光干涉的创始人：

迈尔尔逊

1852-1931

美国物理学家

曾从事光速的精密测量工作  

迈克尔逊首倡用光波波长作为长度基准。

1881年，他发明了一种用以测量微小长度，折射率和光波波长的干涉仪，迈克尔逊干涉仪。

他和美国物理学家莫雷合作，进行了著 名的迈克尔逊-莫雷实验，否定了以太de 存在，为爱因斯坦建立狭义相对论奠定了基础。

由于创制了精密的光学仪器和利用这些仪器所完成光谱学和基本度量学研究，迈克尔逊于1907年获得诺贝尔物理学奖。 光学系统：同轴照明无限远干涉成像系统。Nano X-2000轮廓仪轮廓测量应用

三、涵盖面广的2D、3D形貌参数分析：

  表面三维轮廓仪可测量300余种2D、3D参数，无论加工的物件使用哪一种评定标准，都可以提供全 面的检测结果作为评定依据，可轻松获取被测物件精确的线粗糙度、面粗糙度、轮廓度等参数。

四、稳定性强，高重复性：

  仪器运用高性能内部抗震设计，不受外部环境影响测量的准确性。超精密的Z向扫描模块和测量软件完美结合，保证高重复性，将测量误差降低到亚纳米级别。

 三维表面轮廓仪是精密加工领域必不可少的检测设备，它既保障了生产加工的准确性，又提高了成品的出产效率，满足用户对各项2D，3D参数检测需求的同时，依然能够保持高重复性，高稳定性的运行，其对精密加工所产生的的作用是举足轻重的。 3D形貌轮廓仪当地价格一般三坐标精度都在2-3um左右。

    比较椭圆偏振仪和光谱反射仪光谱椭圆偏振仪(SE)和光谱反射仪(SR)都是利用分析反射光确定电介质，半导体，和金属薄膜的厚度和折射率。两者的主要区别在于椭偏仪测量小角度从薄膜反射的光,而光谱反射仪测量从薄膜垂直反射的光。获取反射光谱指南入射光角度的不同造成两种技术在成本，复杂度，和测量能力上的不同。由于椭偏仪的光从一个角度入射，所以一定要分析反射光的偏振和强度，使得椭偏仪对超薄和复杂的薄膜堆有较强的测量能力。然而，偏振分析意味着需要昂贵的精密移动光学仪器。光谱反射仪测量的是垂直光，它忽略偏振效应（绝大多数薄膜都是旋转对称）。因为不涉及任何移动设备，光谱反射仪成为简单低成本的仪器。光谱反射仪可以很容易整合加入更强大透光率分析。从下面表格可以看出,光谱反射仪通常是薄膜厚度超过10um的首 选，而椭偏仪侧重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之间，两种技术都可用。而且具有快速，简便，成本低特点的光谱反射仪通常是更好的选择。光谱反射率光谱椭圆偏振仪厚度测量范围1nm-1mm(非金属)-50nm(金属)*-(非金属)-50nm(金属)测量折射率的厚度要求>20nm(非金属)5nm-50nm(金属)>5nm(非金属)>。

轮廓仪的主要客户群体

300mm集成电路技术封装生产线检测

集成电路工艺技术研发和产业化

国家重点实验室

高 效太阳能电池技术研发、产业化

MEMS技术研发和产业化

新型显示技术研发、产业化

超高精密表面工程技术

轮廓仪是一种两坐标测量仪器，仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行，传感器的触针感受到被测表而的几何变化，在X和Z方向分别采样，并转换成电信号，该电信号经放大和处理，再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中，计算机对原始表而轮廓进行数字滤波，分离掉表而粗糙度成分后再进行计算，测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标，或放大的实际轮廓曲线，测量结果通过显示器输出，也可由打印机输出。（来自网络） NanoX-8000主设备尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm。

NanoX-8000轮廓仪的自动化系统主要配置 ：

▪ XY最 大行程650*650mm

➢ 支持415*510mm/510*610mm两种尺寸

▪ XY光栅分辨率 0.1um，定位精度 5um，重复精度

1um

▪ XY 平台最 大移动速度：200mm/s

▪ Z 轴聚焦：100mm行程自动聚焦，0.1um移动步进

▪ 隔振系统：集成气浮隔振 + 大理石基石

▪ 配置真空台面

▪ 配置Barcode 扫描板边二维码，可自动识别产品信息

▪ 主设备尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm

如果想要了解更加详细的产品信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 产能 : 45s/点 （移动 + 聚焦 + 测量）（扫描范围 50um）。Nano X-2000轮廓仪轮廓测量应用

包含了从纳米到微米级别的轮廓、线粗糙度、面粗糙度等二维、三维参数，作为评定该物件是否合格的标准。Nano X-2000轮廓仪轮廓测量应用

强大的轮廓仪光电一体软件

美国硅谷研发、中英文自由切换

光机电一体化软硬件集成

三维分析处理迅速，结果实时更新

缩放、定位、平移、旋转等三维图像处理

自主设定测量阈值，三维处理自动标注

测量模式可根据需求自由切换

三维图像支持高清打印

菜单式参数设置，一键式操作，人机界面个性直观

个性化软件应用支持

可进行软件在线升级和远程支持服务

10 年硅谷世界500强研发经验（BD Medical

Instrument）

光学测量、软件系统

岱美仪器将为您提供全程的服务。