纳米压印应用

EVG ® 620 NT特征：

顶部和底部对准能力

高精度对准台

自动楔形补偿序列

电动和程序控制的曝光间隙

支持最 新的UV-LED技术

最小化系统占地面积和设施要求

分步流程指导

远程技术支持

多用户概念（无限数量的用户帐户和程序，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）

敏捷处理和转换工具

台式或带防震花岗岩台的单机版

EVG ® 620 NT附加功能：

键对准

红外对准

SmartNIL

µ接触印刷技术数据

晶圆直径（基板尺寸）

标准光刻：最 大150毫米的碎片

柔软的UV-NIL：最 大150毫米的碎片

SmartNIL ®：在100毫米范围

解析度：≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺）

支持流程：软UV-NIL＆SmartNIL

®

曝光源：汞光源或紫外线LED光源

对准：

软NIL：≤±0.5 µm

SmartNIL ®：≤±3微米

自动分离：柔紫外线NIL：不支持；SmartNIL

®：支持

工作印章制作：柔软的UV-NIL：外部：SmartNIL ®：支持

EVG ® 720是自动SmartNIL ® UV紫外光纳米压印光刻系统。纳米压印应用

纳米压印光刻（NIL） -SmartNIL ®

用于大批量生产的大面积软UV纳米压印光刻工艺

介绍：

EVG是纳米压印光刻（NIL）的市场领先设备供应商。EVG开拓了这种非常规光刻技术多年，掌握了NIL并已在不断增长的基板尺寸上实现了批量生产。EVG的专有SmartNIL技术通过多年的研究，开发和现场经验进行了优化，以解决常规光刻无法满足的纳米图案要求。SmartNIL可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印结果。

如果要获得详细信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司或者访问官网。

安徽纳米压印推荐厂家 EVG620 NT是以其灵活性和可靠性而闻名的，因为它以最小的占位面积提供了最 新的掩模对准技术。

关于WaveOptics       

      WaveOptics是衍射波导的全球领 先设计商和制造商，衍射波导是可穿戴AR设备中的关键光学组件。

      诸如智能眼镜之类的AR可穿戴设备使用户能够观看覆盖在现实世界之上的数字图像。有两个关键元素可让您看到这些图像-微型投影仪之类的光源，以及将图像从投影仪传递到用户眼睛中的一种方式。

WaveOptics的波导技术可传输来自光源的光波并将其投射到用户的眼睛中。该技术可产生大的眼框，双目观察和高视野。眼图框（查看窗口）是从中可以看到完整图像的AR显示器的尺寸-请参见下图。WaveOptics的波导提供清晰，无失真的文本以及稳定的图像。

      WaveOptics技术旨在用于工业，企业和消费者市场的沉浸式AR体验。该公司的目标是，凭借其独特的技术和专业知识，其波导将成为所有AR可穿戴设备中使用的he心光学组件，以实现无与伦比的制造可扩展性和视觉性能，并为众多应用提供多功能性。

为了优化工艺链，HERCULES NIL中包括多次使用的软印章的制造，这是大批量生产的基石，不需要额外的压印印章制造设备。作为一项特殊功能，该工具可以升级为具有ISO 3 *功能的微型环境，以确保最 低的缺 陷率和最 高质量的原版复制。

通过为大批量生产提供完整的NIL解决方案，HERCULES NIL增强了EVG在全 面积NIL设备解决方案中的领导地位。

*根据ISO 14644

HERCULES ® NIL特征：

批量生产最小40 nm *或更小的结构

联合预处理（清洁/涂层/烘烤/寒意）和SmartNIL ®

体积验证的压印技术，具有出色的复制保真度

全自动压印和受控的低力分离，可最 大程度地重复使用工作印章

包括工作印章制造能力

高功率光源，固化时间最快

优化的模块化平台可实现高吞吐量

*分辨率取决于过程和模板 EVG紫外光纳米压印系统有： EVG®610，EVG®620NT，EVG®6200NT，EVG®720，EVG®7200等。

    其中包括家用电器、医药、电子、光学、生命科学、汽车和航空业。肖特在全球34个国家和地区设有生产基地和销售办事处。公司目前拥有员工超过15500名，2017/2018财年的销售额为。总部位于德国美因茨的母公司SCHOTTAG由卡尔蔡司基金会（CarlZeissFoundation）全资拥有。卡尔蔡司基金会是德国历史最悠久的私立基金会之一，同时也是德国规模最 大的科学促进基金会之一。作为一家基金公司，肖特对其员工，社会和环境负有特殊责任。关于EV集团（EVG）EV集团（EVG）是为半导体、微机电系统（MEMS）、化合物半导体、功率器件和纳米技术器件制造提供设备与工艺解决方案的领先供应商。其主要产品包括：晶圆键合、薄晶圆处理、光刻/纳米压印（NIL）与计量设备，以及涂胶机、清洗机和检测系统。EV集团成立于1980年，可为遍及全球的众多客户和合作伙伴网络提供各类服务与支持。SmartNIL，NILPhotonics及EVGroup标识是EVGroup的注册商标,SCHOTTRealView™是SCHOTT的注册商标。（来自网络。EVG系统是客户进行大批量晶圆级镜头复制（制造）的第 一选择。EVG510 HE纳米压印可以免税吗

EVG ® 6200 NT是SmartNIL UV紫外光纳米压印光刻系统。纳米压印应用

    首先准备一块柔性薄膜作为弹性基底层，然后将巯基-烯预聚物旋涂在具有表面结构的母板上，弹性薄膜压印在巯基-烯层上，与材料均匀接触。巯基-烯材料可以在自然环境中固化通过“点击反应”形成交联聚合物，不受氧气和水的阻聚作用。顺利分离开母板后，弹性薄膜与固化后的巯基-烯层紧密连接在一起，获得双层结构的复合柔性模板。由于良好的材料特性，刚性巯基-烯结构层可以实现较高的分辨率。因此，利用该方法可以制备高 分辨的复合柔性模板，经过表面防粘处理后可以作为软压印模板使用。该研究利用新方法制备了以PDMS和PET为弹性基底的亚100nm线宽的光栅结构复合软压印模板。相关研究成果发表于《纳米科技与纳米技术杂志》（JournalofNanoscienceandNanotechnology）。（来自网络。纳米压印应用