台积电隔振台干涉测量应用

1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。

2.将电源线插入控制器背面。

翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。

3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。

4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。

请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。 AVI 200-XL系统固有的刚性使得其有出色的方向性和位置稳定性。台积电隔振台干涉测量应用

AVI-产品参数：AVI-200系列（负载：最多800kg）

型号：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP

系统形状：控制器与防振单元分离型

主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接前面的8个LED指示防振状态

尺寸：120×396×130×636×130×856×

控制器尺寸：241×287×142毫米

承重：400kg

单位重量：约9kg

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电源电压：95-240VAC50-60赫兹

耗电量：普通9W

工作温度范围：5℃〜40℃

工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）

可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 高校隔振台推荐产品TS-140的高度仅为84毫米。

地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有独立的防振单元和控制器。

可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。

特点：

・通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。

・安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。

・振动状态一目了然。

（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）

-加速度信号可以从外部输出。

（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。 LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。

主动式隔震台工作机理

主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持最 佳的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。

（1）实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz

到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。

（2）不同负载下的振动传递率：

AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。 主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。高校隔振台推荐产品

AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。台积电隔振台干涉测量应用

LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度，直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上，并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用，可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度（透射率）有和没有LFS的系统。

将传感器连接到AVI /系统？

传感器LFS-2具有单独的电源，该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。

每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要，但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。

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