主动防震台隔振台电子显微镜AEM

时间:2021年02月20日 来源:

TS-C

TS-C系列是紧凑的动态防振系统,可隔离所有六个平移和旋转振动模式。

这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比最 大,最昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如,这意味着即使通过操作员的手施加了力,由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。


该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。

有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。


该系统的设计即使在低至2-3

Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。主动防震台隔振台电子显微镜AEM

主动防震台隔振台电子显微镜AEM,隔振台

TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计

TS-300的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在最 佳工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”


如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 主动防震台隔振台电子显微镜AEMLFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。

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AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,最 大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。


AVI 600-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 600-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式


AVI 600-M紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备(例如SEM)时进行任何复杂的操作。


技术指标:

频率:  1.2-200 Hz

负载范围:  0-1200公斤

(单件):  600公斤

TS特点:

◎在全部的6个自由度范围内,从0.7Hz到100Hz,TS系列产品提供优良的主动隔振性能。

◎当仪器装载时,高度调整会自动进行。

◎即使当负载偏离中心时,自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时,给予稳定性。

◎通过按下前方的按钮,系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。

◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。

◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用 AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。

主动防震台隔振台电子显微镜AEM,隔振台

所有控制电路都内置在该单元中。功耗小于2.5W。该设备具有通用输入,可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜(AFM, STM),干涉仪和其他高 分辨率仪器,从而使这些仪器能够达到最终的性能。事实证明,该表在支持灵敏实验(例如膜片钳,显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽)方面非常成功。

技术指标:

频率:1.2-300赫兹

负载范围:0-40公斤

尺寸图            300x 300 x 70毫米(长x宽x高)

 11.8x 11.8 x 2.75英寸

 隔离:动态1.2Hz至300Hz,主要在较高频率下为无源

透射率:

高于〜10 Hz的透射率<0.01(-40 dB)

矫正力:垂直±8N,水平±4N

静态合规性:27 µm / N

最 大负载(中心负载):40公斤88.18磅

重量:9.2公斤20.3磅

 



AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。德国隔振台推荐产品

Herz 防震台/防振台是世界上最知名的防震台/防振台系统方案供应商之一。主动防震台隔振台电子显微镜AEM

5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下,使模块从一侧到另一侧(而不是从前到后)横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧,不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝内,相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40,则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝外,彼此远离。

6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板,前后各27.5英寸,两侧各27英寸,在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时,确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。

7、系统就位后,使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜,直到其落在安装板上。抬起水平尺,直到它们向上并离开。 主动防震台隔振台电子显微镜AEM

岱美仪器技术服务(上海)有限公司致力于仪器仪表,是一家贸易型公司。公司业务分为半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司秉持诚信为本的经营理念,在仪器仪表深耕多年,以技术为先导,以自主产品为重点,发挥人才优势,打造仪器仪表良好品牌。在社会各界的鼎力支持下,持续创新,不断铸造高品质服务体验,为客户成功提供坚实有力的支持。

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