浙江无损氦质谱检漏仪多少钱

氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天等。浙江无损氦质谱检漏仪多少钱

氦检仪产生测量误差主要包括哪几个方面？第1，当氦质谱泄漏检测器校准灵敏度时，标准泄漏的位置与检测泄漏的位置不同，即标准泄漏与检测泄漏检测器之间的距离太大，在途中泄漏氦的损失不相等，导致进入检测泄漏检测器的氦量可比性差。第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四，氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六，氦检仪的性能不稳定。第七，氦气纯度不稳定或存在误差。温州多功能氦质谱检漏仪氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。

氦检仪分子泵出现故障如何快速定位维修？1.TMP(分子泵工作频率)在仪器的显示界面提示为0，即为分子泵不工作。可能是前级压力过高(分子泵启动压力为200Pa)导致分子泵不能正常启动。2.检查真空表是不是出现了问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。3.分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。4.氦泄漏检测仪的灯丝不能正常启动。在确认机械泵和分子泵处于正常工作状态后，如果灯丝仍不能发射离子流，则需要更换离子源。如果灯丝指示灯闪烁，请检查航空插座和离子源端子是否开启。如果开路，请更换灯丝。如果没有，请检查端子是否与其他连接器连接，以消除短路。

氦质谱检漏仪的优点体现在以下几个方面：（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声。

氦质谱检漏仪的注意事项：1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。4.检漏过程中，如发现大量氦气进人质谱检漏仪，应立即移去吸口，防止因仪器长时间消除不掉氦影响而延误测试。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天、核工业、电力、电子元器件、汽车及制冷、低温容器、阀门、仪器仪表、聚酯等行业。氦检仪是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的氦检仪器。浙江无损氦质谱检漏仪多少钱

为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，应在氦质谱检漏仪下方设置过滤器。浙江无损氦质谱检漏仪多少钱

氦质谱检漏仪定期保养该怎么做？1.对氦质谱检漏仪真空系统进行保养时，由于常见氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成，因此在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空，当真空度达到规定压力后，再进入真空系统部分；被检件在检测前会被要求进行清洁前处理，以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统。否则将直接污染真空系统，甚至造成真空泵损坏。因此，对被检件的前处理以及对设备自身的保养清理十分重要。2.除了上述氦质谱检漏仪真空系统需要保养之外，还需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养，以及电磁阀组的超声清洗，此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护，避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。浙江无损氦质谱检漏仪多少钱