马鞍山国产氦质谱检漏仪

氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气，因为氦气具有以下特性：①氦气在空气中的含量极少，只占约二十万分之一，这样氦气的本底值就小，有利于发现极微量的氦气;②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔，易于检测也易于清理;③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析;④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备;⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。氦质谱检漏技术用于火力发电厂的检漏工作,具有操作方便、灵敏度高和无损伤性等优点,特别是可以在正常运行中准确快捷地对机组进行检漏,减少停机带来的经济损失。在结构组成上，大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的；马鞍山国产氦质谱检漏仪

氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。浙江移动式氦质谱检漏仪原理喷氦法、吸氦法是氦检仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。

氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、氦质谱检漏仪中空气的本底影响。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规等。

氦质谱检漏仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪自身保养小知识：（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；（2）电磁阀组的超声清洗；（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。氦质谱检漏仪能够实现双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

氦检仪漏率的校准方法：一、环境条件，校准环境温度为(23±5)℃，校准过程中室温变化不超过±1℃，环境相对湿度不大于80%。校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。环境温度较好控制在23℃附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。二、标准器的选择，标准器采用渗氦型标准漏孔，漏率标称值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不确定度不大于10%。精密玻璃温度计，测量范围(0～50)℃，不确定度U=0.04℃，k=2。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。安徽便携式氦质谱检漏仪定制

氦质谱检漏仪的质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的要定期保养维护。马鞍山国产氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪在使用时需注意哪些问题？1、氦质谱检漏仪实际的检漏灵敏度比理论计算值低，一是由于所喷出的氦气流是散开的，故掺有一定数量的空气，使氦气的浓度有所降低。二是喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向，此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。2、检漏次序：从被检件物体的上方至下方，由近处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。3、检出的大漏孔要经修补后再去找小漏孔。4、当存在两个相距很近的可疑的漏孔点时，应先把一个点盖住，再对另一点进行喷氦。5、当喷在某一点时，如果，检漏仪上的显示有变化，其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。马鞍山国产氦质谱检漏仪