绍兴客制化氦质谱检漏仪报价
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1优于200Pa时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20Pa时,入口阀2关闭,入口阀3打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪,应在氦质谱检漏仪下方设置过滤器。绍兴客制化氦质谱检漏仪报价
氦检仪的工作原理:氦检仪先在质谱室中将采集的被测气体电离,再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测,从中检测出事先安排的示踪氦离子,主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。质谱室是氦检仪的重点部分,它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分,分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性,氦气的压缩比很小,可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离,氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极,产生一个正比于离子数量的电流信号,该信号经过放大和处理即为泄漏率。常州推车式氦质谱检漏仪一台多少钱氦检仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦检仪在使用过程中需特别注意以下几点:①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动氦检仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。③氦检仪应按照说明书的要求定期进行保养,保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。④氦检仪在运行了2000h后应对前级泵进行维修和保养,运行7000h分子泵进行维护和保养。
氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点,是真空检漏技术中灵敏度较高,用得比较多的检漏仪器。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声,需要针对性的采取措施。
氦检仪产生测量误差主要包括哪几个方面?第1,当氦质谱泄漏检测器校准灵敏度时,标准泄漏的位置与检测泄漏的位置不同,即标准泄漏与检测泄漏检测器之间的距离太大,在途中泄漏氦的损失不相等,导致进入检测泄漏检测器的氦量可比性差。第二,进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。第三,所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四,氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五,校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时,所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六,氦检仪的性能不稳定。第七,氦气纯度不稳定或存在误差。氦质谱检漏仪的关键部件均为进口,性能稳定可靠。嘉兴便携式氦质谱检漏仪供应厂家
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术。绍兴客制化氦质谱检漏仪报价
氦质谱检漏仪定期保养该怎么做?1.对氦质谱检漏仪真空系统进行保养时,由于常见氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成,因此在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空,当真空度达到规定压力后,再进入真空系统部分;被检件在检测前会被要求进行清洁前处理,以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统。否则将直接污染真空系统,甚至造成真空泵损坏。因此,对被检件的前处理以及对设备自身的保养清理十分重要。2.除了上述氦质谱检漏仪真空系统需要保养之外,还需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养,以及电磁阀组的超声清洗,此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护,避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。绍兴客制化氦质谱检漏仪报价
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