国产氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪对检漏方法的具体要求:1、检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;2、反应时间短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能够找出漏孔的位置,还能知道漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;4、能无损检漏,不使被检设备受到损伤和污染;5、稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠;6、所用“示踪气体”在空气中含量低,无毒,不腐蚀零件;7、检漏范围大,从大漏孔到小漏孔都能检测到,以减少检漏设备的数量和费用;8、检漏时洁净无油,满足一些特殊的要求。氦检仪怎么选择适合的检漏方法?国产氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护?当发现检漏仪的灵敏度降低,而检漏仪的工作真空度状态良好,放大器的各级工作电压也符合标准要求,就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候,就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下:先用高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件,不能用粗砂纸,因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件;然后用航空汽油或无水乙醇清洗,并用去离子水冲洗干净;然后用烘箱或电吹风进行干燥。如果操作正确,经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2~3倍。常州便携式氦质谱检漏仪价格氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声。
氦检仪的工作原理:氦检仪先在质谱室中将采集的被测气体电离,再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测,从中检测出事先安排的示踪氦离子,主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。质谱室是氦检仪的重点部分,它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分,分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性,氦气的压缩比很小,可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离,氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极,产生一个正比于离子数量的电流信号,该信号经过放大和处理即为泄漏率。
氦质谱检漏仪的优点体现在以下几个方面:(1)便携式:很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。氦检仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。
氦检仪怎么选,这取决于客户的需求:应用类型:(例如:生产,维护等)-干式/传统的油泵?性能:(进入检漏模式所需要的时间,灵敏度,响应时间,恢复时间,初抽的能力)。重量以及大小。氦氦检仪的性能衡量,主要是通过以下参数:初抽的能力:(m3/h),检测允许的较大进气口压力:(mbar),进入检测模式所需要的时间:(s),氦抽速:(l/s))灵敏度,较低可测的氦信号:(mbar.l/s),响应时间:(s),恢复时间:(s),初抽能力:将决定进入检测模式的时间)将决定是否只使用氦检仪进行检测就可以(是否需要辅助泵)。检测允许的较大进气口压力:〉将决定进入检测模式所需要的时间。进入检测模式所需要的时间:是由初抽能力和检测允许的较大压力共同决定的。其他可能会影响检测时间的参数:腔体的脱气以及非常大的泄漏。氦检仪检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。浙江智能氦质谱检漏仪单位
氦质谱检漏仪的主要根据被检漏设备的允许漏率为依据。国产氦质谱检漏仪原理
氦检仪在真空度校验中有什么应用?氦是一种惰性气体,不会对设备产生腐蚀,不与真空器件起化学反应,无毒,也不会污染环境,因此使用起来也十分安全。对容器环境和质谱环境干扰较小,常作为泄漏气体使用。在接有氦检仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体,如果容器有漏孔,分析仪就会发出响声,从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术,由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点,在电阻炉检测泄漏中被普遍应用。国产氦质谱检漏仪原理
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