安庆国产氦质谱检漏仪

氦检仪在使用过程中需特别注意以下几点：①使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动氦检仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。③氦检仪应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。④氦检仪在运行了2000h后应对前级泵进行维修和保养，运行7000h分子泵进行维护和保养。有些国家生产的氦检仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果。安庆国产氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪常见的几种检漏法：1、负压法检漏，负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。2、压氦法检漏，压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。苏州移动式氦质谱检漏仪多少钱喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。

氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。氦质谱检漏仪主要技术指标：1.可检漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.启动时间：≤5min；4.响应时间：≤1s；5.检漏口的压力：1500Pa；6.电源要求：220v，50Hz，单相，10A；7.工作环境：5-35℃；8.相对湿度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用环境：环境温度：5～35℃；相对湿度：<80%；供电电压：单相交流220V±10%，50Hz工作电流：10A。氦质谱检漏仪在运行过程中不能移动。

随着汽车行业的迅猛发展，汽车空调行业对氦检的需求越来越大，对氦检的性能指标要求越来越高。氦检仪在汽车空调蒸发器、冷凝器和压缩机检漏上在拥有氦气检漏的普遍优点的同时，更具备操作方便、工作节拍快、误判率低等独有特点。对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱与氦检仪检漏口相接。若被检工件有漏，则漏入真空箱的氦气可通过氦检仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充铸和回收。电厂使用氦检仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。氦检仪在电厂检漏领域被普遍使用。氦检仪是磁偏转型的质谱分析计。江西氦质谱检漏仪供应商

氦检仪自动化程度高；安庆国产氦质谱检漏仪

使用氦检仪需注意的几个问题：(1)检漏方法的选择:目前,电厂采用氦检仪检漏通常采用负压采样法,该方法操作简便,但仪器的清理时间较长。根据被检系统的不同也可以采用真空法检漏,即将氦检仪的测试口直接接至真空系统的抽气管道上,通过节流阀调节气流以衰减氦检仪与真空系统间的压差,使氦检仪正常工作,该方法检漏效率稍高,但安装较为复杂。(2)仪器灵敏度:灵敏度的高低直接影响检漏的效果。氦检仪经过一段时间的使用后,灵敏度会有所下降,严重时对纯氦无反应。因此,平时应该经常保持仪器,特别是质谱室的清洁,定期打开气镇阀运行一段时间,并给旋片真空泵换油,这样可以减少仪器对氦的记忆效应。另外还要定期用标准漏孔对仪器的灵敏度进行校验,使氦检仪始终保持较佳的工作状态。安庆国产氦质谱检漏仪

上海睿德励柯仪器仪表有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在上海市等地区的仪器仪表中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，上海睿德励柯仪器仪表供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！