江苏Marposs 传感器技术

在半导体行业应用：

LED 芯片三维测量

LED 晶圆光学检测

BGA 半导体封装

光伏晶圆表面形貌

测量涂层厚度时与部件无任何接触。激光和红外传感器可分析2至50厘米距离的涂层。这意味着可以在工业涂层环境中测量部件，即使它们位于移动产线上、在高温环境中，甚至易碎或潮湿环境中。由于激光束产生的热量极少，因此测量过程中涂层和部件都不会被损坏或改变。因此，对于那些迄今已有的方法会破坏测试样品的工业运用，它也可以系统地测量每个部件。测量通常不到一秒钟，具有高度重复性。这样可以控制高达100％的涂层部件，严格遵循涂层工艺性能并实时反应以保持比较好状 马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，欢迎新老客户来电！江苏Marposs 传感器技术

什么是光谱共焦干涉仪？

非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。为了从这些环境干扰中解放出来，开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统，干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。

原理：

干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。 北京线光谱共焦传感器厂家适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理。

多个产品同时测量减少成本测量对象可任意摆放，多个产品可同时测量，**节省测量时间，减少用工成本！

低畸变图像无变形即便在镜头边缘部位测量，图像畸变也很小，无需担心测量对象所放位置。缺陷过滤测量位置包含有毛边或缺陷时系统能自动识别，排除异常点提高测量的准确度。数据追溯管理更简单测量结果自动保存，可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索，数据追溯管理简单

优势：测量更准确采用双倍率双侧远心光学镜头，具有较高的远心度，即使有段差情况下也能高精度正确的测量。倍率涵盖0.16X大视野/0.7X高精度。

什么是光谱共焦？光学传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理，我们的传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。用于工业环境中的设计，STIL传感器的各系列，吸引集成器与测量检测机器轻松连接，这归功于为每台仪器提供的动态链接库（DLL）

光学原理我们的光学传感器基于高度创新的共焦彩色成像原理。入射的白光***通过彩色物镜成像为沿Z轴的连续单色图像，从而沿光轴提供“颜色编码”反向散射的光束通过过滤***进入光谱仪，该光谱仪确定波长已完全聚焦于物体上，然后精确地确定其在测量场的位置。共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。 膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控，非接触测量，适用于易变形和不透明的材料较小厚度测量5µm。

汽车行业汽车是现代工业自动化的产物。汽车行业高速发展，汽车各个部件的生产制造过程中，涉及到各种各样的测量、识别、分选和检查，例如微小工件尺寸的精确测量，工件装配的段差和间隙的测量，产品包装上的条码和字符识别等。它们可能具有以下一些特点：高速大批量检测、检测精度要求高、被测对象尺寸微小等。

在上述的这些情况下，利用人工无法连续稳定的进行检测；另外，每个人的判断标准不统一也导致检测结果的不一致。这时，人们开始考虑把利用相机镜头来代替人类视觉并结合图像处理技术来实现检测，于是形成了一门新学科----机器视觉。光谱共焦传感器运用高分辨率线性相机（亚微米探测）和高扫描速度，满足了汽车制造过程对精度和速度的要求。 马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，有需求可以来电咨询！江西非接触式传感器品牌

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而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜，延长不同颜色光的焦点光晕范围，形成特殊放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长，就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜，返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上，小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱，也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强，在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面，需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅，可以根据反射光的波长，增强或减弱折射率。因此，CCD矩阵上的每一个位置，对应一个测量物体到探头的距离。江苏Marposs 传感器技术

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