上海点光谱共焦传感器测量范围

什么是静态噪声？

静态噪声(StaticNoise,简称SN)，位于测量范围中心、完全静态的样品测得的噪声级别的RMS。我们的参数表给出了两个SN值：一个没有时间平均值，另一个时间平均值为10。这是比较大可接受值。校准后立即测量每个传感器的SN，并在校准证书中指定。该参数决定了传感器的轴向分辨率。

什么是测量精度？测量精度，是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。

校准后，此参数立即如下条件下测量：优化率，倾斜角度=0°，时间平均=测量频率/10，采样步数至少为100。对于“自适应LED”模式的传感器，此模式已启用。精度对于传感器和校准台的短期重复来说是个良好指标。表中的数值为比较大可接受值：每个传感器的准确度在校准后立即测量，并在校准证书中指示。测量精度，是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。 马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，欢迎新老客户来电！上海点光谱共焦传感器测量范围

颠覆传统激光三角测距法，3D尺寸精密测量方案提供者

线激光位移传感器

高场度高性价的线激光位移器，操作简单易懂出厂时已作标定，用户开箱即用，重新定义3D视觉，让3D相机的使用和2D相机一致

非接触式晶圆厚度测量系统

非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的使用。

非接触式晶圆粗糙度测量系统

阶梯式测量还原接触测量真实结果:直线电机高精度龙门动机构:兼容抛光、未抛光透明及非透明晶圆测量 广东Marposs 传感器精度马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，有想法的不要错过哦！

公司基于创新的技术开发了两个系列的产品：从0.1μm到100mm测量行程的点光谱共焦传感器、从1.8mm到45mm线长的不同测量行程的线光谱共焦传感器。 这些高分辨率的非接触式传感器***运用于各种不同要求的高精密测量场合。从物体表面细微结构、形状及纹理粗糙度的测量分析，到工业环境下的在线质量检测、过程控制与逆向工程，及实验室研究场合的高精度设备，我们的光谱共焦传感器都成了众多客户不可或缺的选择。

我们为全球各行业（可应用行业范围：玻璃、医疗、电子、半导体、汽车、航空航天、制表业…等）企业提供高性能的光谱共焦位移传感器。任何材料的物体，如金属、玻璃、陶瓷、半导体、塑料、织物等，我们的光谱共焦传感器都可轻松测量，而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求，无论什么颜色，物体表面是漫反射或者高光面，乃至于镜面都可以轻松测量。

什么是光谱共焦干涉仪？

非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。为了从这些环境干扰中解放出来，开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统，干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。

原理：

干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。 光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，用户的信赖之选，有需求可以来电咨询！

光谱共焦位移传感器原理介绍

一束白光点光源，通过色散透镜发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值（测量范围）。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦，只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到，其他波长的光被挡在小孔之外，通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。

面白光干涉传感器

白光干涉测量**于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一 光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，让您满意，欢迎新老客户来电！安徽光谱共焦视觉检测传感器厂家

用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。上海点光谱共焦传感器测量范围

在半导体行业应用：

LED 芯片三维测量

LED 晶圆光学检测

BGA 半导体封装

光伏晶圆表面形貌

测量涂层厚度时与部件无任何接触。激光和红外传感器可分析2至50厘米距离的涂层。这意味着可以在工业涂层环境中测量部件，即使它们位于移动产线上、在高温环境中，甚至易碎或潮湿环境中。由于激光束产生的热量极少，因此测量过程中涂层和部件都不会被损坏或改变。因此，对于那些迄今已有的方法会破坏测试样品的工业运用，它也可以系统地测量每个部件。测量通常不到一秒钟，具有高度重复性。这样可以控制高达100％的涂层部件，严格遵循涂层工艺性能并实时反应以保持比较好状 上海点光谱共焦传感器测量范围

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