氧化钛靶材工厂

时间:2022年01月15日 来源:

由于操作人员同时对靶材侧壁表面及经圆角处理的侧棱进行抛光,因此操作人员施加在靶材侧壁表面及侧棱上的力度差异小,抛光工艺结束后,靶材侧壁表面及经圆角处理的侧棱表面具有相近似甚至完全相同的平整度,使得抛光表面具有良好的均一性,有助于改善溅射镀膜质量。若分步骤对靶材侧壁表面及经圆角处理的侧棱表面进行抛光,操作人员在两个步骤中施加的力度容易差别较大,造成抛光处理后,靶材侧壁表面与侧棱表面粗糙度差异大,使得靶材侧壁表面与侧棱表面交接处具有台阶。在溅射镀膜过程中,所述台阶容易导致前列放电,影响溅射镀膜的均一性,造成镀膜质量差。抛光片部分310的厚度均匀。所述抛光片第三部分330的厚度均匀。位于所述固定板200弯折处的所述抛光片300的厚度不均,即所述抛光片第二部分320的厚度不均。抛光片部分310的厚度与所述抛光片第三部分330的厚度相等,均为2mm~3mm。抛光片部分310、抛光片第二部分320及抛光片第三部分330为分体的。在其他实施例中,所述抛光片部分、抛光片第二部分及抛光片第三部分还可以为一体成型。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。氧化钛靶材工厂

钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/cm2,钎料常用In、Sn、In-Sn;导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05um。二.绑定的适用范围:建议绑定的靶材:ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材;锡、铟等软金属靶;靶材太薄、靶材太贵的情况等。但下列情况绑定有弊端:1.熔点低的靶材,像铟、硒等,金属化的时候可能会变软变形;2.贵金属靶材,一是实际重量易出现分歧,二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料,建议垫一片铜片。三.背靶的选择对材质的要求:一般选用无氧铜和钼靶,厚度在3mm左右;导电性好:常用无氧铜,无氧铜的导热性比紫铜好;强度足够:太薄,易变形,不易真空密封;结构要求:空心或者实心结构;厚度适中:3mm左右,太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。南京氧化钇锆靶材定制采用中频电源或射频电源,可以溅射不导电的陶瓷靶材。

技术实现要素:本发明解决的问题是提供一种靶材抛光装置,有助于提高作业效率。为解决上述问题,本发明提供一种靶材抛光装置,包括:固定板,所述固定板包括顶板和位于所述顶板一侧的侧板;抛光片,位于所述固定板内侧面上,其中位于固定板弯折处的抛光片呈弧状。可选的,所述抛光片表面与靶材侧壁表面及经圆角处理的侧棱相匹配。可选的,所述固定板内侧面弯折处形成夹角,位于所述固定板弯折处的所述抛光片的厚度不均。可选的,所述固定板内侧面弯折处呈弧状,位于所述固定板弯折处的所述抛光片的厚度均匀。可选的,所述固定板的材料为金属或合金。可选的,所述抛光片为砂纸。可选的,所述靶材抛光装置还包括:防护层,所述防护层位于所述固定板与所述抛光片之间。可选的,所述防护层为弹性材料。可选的,所述防护层的材料为***、橡胶或棉花。可选的,所述靶材抛光装置还包括:把手,所述把手设置于所述固定板的外表面上。可选的,所述把手的数量为两个,其中一个所述把手设置于所述固定板的顶部,另一个所述把手设置于所述固定板的侧壁上。

NCVM不导电膜是什么,它有哪些特点? NCVM又称不连续镀膜技术或不导电电镀技术,是一种起缘普通真空电镀的高新技术。真空电镀,简称VM,是vacuum metallization的缩写。它是指金属材料在真空条件下,运用化学、物理等特定手段进行有机转换,使金属转换成粒子,沉积或吸附在塑胶材料的表面,形成膜,也就是我们所谓的镀膜。真空不导电电镀,又称NCVM,是英文Non conductive vacuum metallization的缩写。它的加工工艺高于普通真空电镀,其加工制程比普通制程要复杂得多。 NCVM特点是采用镀出金属及绝缘化合物等薄膜,利用各相不连续之特性,得到外观有金属质感且不影响到无线通讯传输之效果。首先要实现不导电,满足无线通讯产品的正常使用;其次要保证“金属质感”这一重要的外观要求;通过UV涂料与镀膜层结合,保证产品的物性和耐候性,满足客户需求。


靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。

目前市场上常见的合金靶材有哪些? 钛铝靶材,TiAl靶材,钛硅靶材,TiSi靶材,钛钨靶材,TiW靶材,钨钛靶材WTi靶材,钛铝硅靶材,TiAlSi靶材,铬铝靶材,CrAl靶材,铬硅靶材,CrSi靶材,硅铝靶材,SiAl靶材,锌锡靶材,ZnSn靶材,锌铝靶材,ZnAl靶材,铝铜靶材,AlCu靶材,镍铬靶材,NiCr靶材,镍钒靶材,NiV靶材,镍铁靶材,NiFe靶材,镍铜靶材,NiCu靶材,铁钴靶材,FeCo靶材,钛铌靶材,TiNb靶材,钛锆靶材,TiZr靶材,铟锡靶材,InSn靶材,铜锆靶材,CuZr靶材,镁锌钙靶材,MgZnCa靶材,镍铬铜靶材,NiCrCu靶材,钼铌靶材,MoNb靶材,铝钕靶材,AlNd靶材,铝钪靶材,AlSc靶材,银铝靶材,AgAl靶材, 铬铝硅靶材,CrAlSi靶材,镝铝靶材,DyAl靶材,铌锆靶材,NbZr靶材等等。当溅射靶被化合物全部覆盖的时候,靶完全中毒,在靶面上沉积一层化合金属膜。氧化钛靶材工厂

选择能实现快速致密化的成形烧结技术,以保证靶材的低孔隙率,并控制晶粒度。氧化钛靶材工厂

为确保足够的导热性,可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意一定要仔细检查和明确所使用溅射头冷却壁的平整度,同时确保O型密封圈始终在位置上。由于所使用冷却水的洁净程度和设备运行过程中可能会产生的污垢会沉积在阴极冷却水槽内,所以在安装靶材时需要对阴极冷却水槽进行检查和清理,确保冷却水循环的顺畅和进出水口不会被堵塞。有些阴极设计是与阳极的空隙较小,所以在安装靶材时需要确保阴极与阳极之间没有接触也不能存在导体,否则会产生短路。请参考设备商操作手册中关于如何正确安装靶材的相关信息。在收紧靶材夹具时,请先用手转紧一颗镙栓,再用手转紧对角线上的另外一颗镙栓,如此重复直到安装上所有镙栓后,再用工具收紧。氧化钛靶材工厂

江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外知名研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列高品质溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供高品质的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。

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