镝靶材图片
钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/cm2,钎料常用In、Sn、In-Sn;导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05um。二.绑定的适用范围:建议绑定的靶材:ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材;锡、铟等软金属靶;靶材太薄、靶材太贵的情况等。但下列情况绑定有弊端:1.熔点低的靶材,像铟、硒等,金属化的时候可能会变软变形;2.贵金属靶材,一是实际重量易出现分歧,二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料,建议垫一片铜片。三.背靶的选择对材质的要求:一般选用无氧铜和钼靶,厚度在3mm左右;导电性好:常用无氧铜,无氧铜的导热性比紫铜好;强度足够:太薄,易变形,不易真空密封;结构要求:空心或者实心结构;厚度适中:3mm左右,太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉。镝靶材图片
其他服务:打穿的钯靶材、钯残料可提供回收再加工服务。回收流程如下:称重----清洗、提纯---熔炼加工---靶材等成品江阴典誉新材料科技有限公司,是专业从事镀膜材料、合金制备等相关材料研发、销售、服务为一体的全球化高科技综合性公司。以业内 企业为支撑,整合技术资源,拥有自主进出口经营权和成熟的运营管理团队,科学化管理运营,为公司向化、高新化发展奠定了基础。典誉新材料在光电器件、芯片半导体、太阳能电池、光学镀膜、航空航天、 、冶金、功能材料、新能源等行业产品开发、创新方面,有着得天独厚的优势。以客户需求为导向,以前沿技术为基础,开发了多个产品系列,涵盖溅射靶材、蒸镀膜料、高纯合金、金属粉末、耗材配件等千余种产品,质量稳定、工艺完善,得到广大客户好评。典誉新材料坚持“诚信为本、高质的经营理念,关注客户需求,追求客户满意,以服务求生存,以质量求发展,不断优化产品线,为广大用户提供一站式服务,力争做全球 的金属材料供应商。杭州铝锌靶材调试由于活性反应气体粒子与靶面原子相碰撞产生化学反应生成化合物原子。
非晶硅薄膜 多晶硅薄膜具有较高的电迁移率和稳定的光电性能,是制备微电子器件、薄膜晶体管、大面积平板液晶显示的质量材料。多晶硅薄膜被公认为是制备低耗、理想的薄膜太阳能电池的材料。因此,如何制备多晶硅薄膜是一个非常有意义的研究课题。固相法是制备多晶硅薄膜的一种常用方法,它是在高温退火的条件下,使非晶硅薄膜通过固相相变而成为多晶硅薄膜。本文采用固相法,利用X- ray 衍射及拉曼光谱,对用不同方法制备的非晶硅薄膜的晶化过程进行了系统地研究。 在硅薄膜太阳能电池材料中,非晶硅薄膜太阳能电池制造工艺相对简单,但是存在光电转换效率低,寿命短,稳定性不好,并且存在光致衰退效应(S-W 效应)等缺点。单晶硅薄膜太阳能电池因为制作工艺和制作成本等原因始终得不到推广,而多晶硅薄膜材料在长波段具有光敏性,能有效的吸收可见光并且具有光照稳定性。
直流磁控溅射制备锌-锑热电薄膜的技术探讨 热电材料是一种能够实现热能和电能直接相互转换的绿色环保型功能材料。近年来研究发现,热电薄膜化有助于热电材料减低热导率,从而能够有效的提高材料的热电转换效率,因此具有十分重要的科学研究价值。Zn-Sb合金是采用的P 型热电半导体材料之一,但由于其较低的热电优值,所以没有得到普遍的应用。 但近几年研究发现,在263 K~767K 温度区间稳定存在的β-Zn4Sb3 具有非常优异的热电性能,材料少含稀土材料以及可适用于中温,被国内外认为是具有前景的中温热电材料之一。因此,本文选取纯度为99.99%的Zn 和Sb 金属靶作为靶材,采用直流磁控共溅射技术,制备Zn-Sb 合金热电薄膜,研究不同热处理条件下合成的Zn-Sb 化合物热电薄膜的结构与热电特性变化规律。 结果表明,选取适当的溅射Zn和Sb的功率条件,溅射完成合金薄膜后在Ar 气氛下进行623 K 退火热处理,可形成具有单一β-Zn4Sb3相结构的Zn-Sb 热电薄膜,且薄膜颗粒大,较致密,所制备的热电薄膜具有优良的热电性能。而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
本实施例提供一种长寿命靶材组件,所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.78mm;所述靶材表面的硬度为26hv;其中,所述靶材的比较大厚度为22mm;所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形结构;所述靶材包括用于溅射的溅射面;所述溅射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面与水平面的夹角为4°;所述斜面位于所述平面和第二平面之间;所述平面为圆形;所述第二平面为环形;所述靶材的材质包括钛;所述背板的材质包括铝。所得靶材组件溅射强度好,使得溅射过程中薄膜厚度均匀,使用寿命增加。对比例1与实施例1的区别 在于所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.5mm;所得靶材组件溅射强度差,使得溅射过程中薄膜厚度不均匀,使用寿命减少。对比例2与实施例1的区别 在于所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为8mm;所得靶材组件溅射强度差,使得溅射过程中薄膜厚度不均匀,使用寿命减少。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400V-600V之间,当发生靶中毒时,溅射电压会降低。氧化铌靶材功能
正离子堆积:靶中毒时,靶面形成一层绝缘膜。镝靶材图片
电解锰片状99.7%1-10mm真空熔炼Co-F3501电解钴片状99.95%1-10mm真空熔炼Co-I3504电积钴块状99.95%40*40*5mm真空熔炼Co-G3533钴颗粒99.95%φ3*3mm真空熔炼W-G3536m真空熔炼Ta-G3533钽颗粒99.95%φ3*3mm真空熔炼Nb-G3533铌颗粒99.95%φ3*3mm真空熔炼Mo-G3533m真空熔炼Si-I5011多晶硅块状99.999%不规则块状真空熔炼In-G4501铟颗粒99.995%1-3mm真空熔炼Zr-I2402海绵锆块状99.4%3-25mm真空熔炼Hf-I2402海m真空熔炼Ge-G5006锗颗粒99.999%3-5mm真空熔炼La-I3011镧块状99.9%不规则块状真空熔炼Er-I3011铒块状99.9%不规则块状真空熔炼Dy-I3011镝块状99.9%不规则块状真空熔炼W-P3504钨粉末99.95%325目粉末冶金Al-P3504&nbs5目粉末冶金TiC-P2514碳化钛粉末99.5%3-5μm粉末冶金HfC-P2514碳化铪粉末99.5%3-5μm粉末冶金ZrB2-P2519二硼化锆粉末99.5%10μm粉末冶金Ti-F2612.2*L耗材配件Ta-F3513钽0*0.2mm耗材配件Nb-F3513*100*0.2mm耗材配件合金定制流程:1.客户提供需要的配比、块材大小和用量要求;镝靶材图片
江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外**研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。
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