山东MoC靶材

时间:2021年12月12日 来源:

作为本发明 的技术方案,所述靶材的材质包括铝、钽、钛或铜中的一种。作为本发明 的技术方案,所述背板的材质包括铜和/或铝。作为本发明 的技术方案,所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.75-6mm;所述靶材表面的硬度为20-30hv;其中,所述靶材的比较大厚度为20-30mm;所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形结构;所述靶材包括用于溅射的溅射面;所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面与水平面的夹角≤10°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之间;所述***平面为圆形;所述第二平面为环形;所述靶材的材质包括铝、钽、钛或铜中的一种;所述背板的材质包括铜和/或铝。与现有技术方案相比,本发明具有以下有益效果:本发明中,通过调整靶材表面的高度差及硬度,利用二者之间的协同效果保证溅射强度,使得溅射过程中薄膜厚度均匀,使用寿命增加。靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。山东MoC靶材

防护层为弹性材料,所述防护层的质地软,能够在所述固定板及靶材间提供缓冲,避免所述固定板触撞靶材导致靶材受损。具体实施方式:为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。一种靶材抛光装置100,包括:固定板200,所述固定板200包括顶板210和位于所述顶板210一侧的侧板220;抛光片300,位于所述固定板200内侧面上,其中位于固定板200弯折处的抛光片300呈弧状。固定板200能够起到支架的作用,以固定支撑所述抛光片300,便于操作人员使用所述靶材抛光装置100。顶板210呈矩形状,所述侧板220也呈矩形状。固定板200内侧面弯折处形成夹角。具体的,所述侧板220表面垂直于所述顶板210表面,即所述夹角为90°。在其他实施例中,所述夹角还可以大于90°且小于180°。广东Te靶材密度也是靶材的关键性能指标之一。

真空离子镀耐高温性能:   航空零件,特别是许多发动机零件往往需要在高温下工作。例如涡轮叶片及导向叶片工作温度通常在摄氏一千度左右,有的甚至达摄氏一千四百度。神话小说《西游记》里孙悟空被太上老君放在炉内烧炼时,恐怕也达不到这么高的温度吧。现代航空发动机零件在这样高的温度下工作,依赖零件基体材料本身的性能是很难满足要求的。那么,发动机零件怎样才能不怕高温烧蚀呢?目前除在零件结构上采取措施(如采用空心冷却叶片、发散冷却叶片等)以外,大都需用耐热镀层进行保护。离子镀对于沉积耐热膜有相当多的优点,能镀各种高熔点材料,如氧化铝、氧化硅、氧化铍、铪合金等。合金镀层的成份也比较容易控制,适合于镀成分较复杂的耐热合金,如铁铬铝钇,钴铬铝钇或镍铬铝钇合金等。   目前涡轮叶片是试图采用离子镀耐热镀层的主要对象。据悉,有一种叶片用此法镀复一种镍铬铝钇合金后,其高温工作寿命比镀铝提高了三倍。适于采用离子镀耐热镀层的发动机零件还有涡轮盘、气缸活塞零件等。有些零件经过这种先进工艺处理后,可在高温下工作上千小时。

有一部分靶材在安装之前需要抛光,比如铝靶材等活性金属靶材,长期暴露在大气中,表面容易形成一层氧化皮,在直流脉冲、中频溅射过程中,离子撞击的能量不足以破坏氧化皮,所以一般在溅射的时候进行物理抛光。一般靶材抛光后,溅射速率、电压等工艺参数比较稳定,容易控制。所以结论就是,活性金属靶材要求表面抛光,不活泼金属靶材不一定非要求表面抛光。其他非金属的靶材不需要抛光。靶材安装及注意事项有哪些?溅射靶材安装过程中重要的注意事项是一定要确保在靶材和溅射头冷却壁之间建立很好的导热连接。如果用冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲,背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响,导致在溅射过程中热量无法散发终会造成靶材开裂或脱靶。靶材绑定的定义。溅射靶材的分类有哪些?

涂布技术在真空镀铝膜中的应用 将涂布技术与真空镀铝技术结合起来,通过在基材薄膜或镀铝薄膜上涂布功能层,以达到提高镀铝层的附着牢度、耐水煮性能、阻隔性能、装饰性能等,满足不同应用领域的要求。 一.经过等离子预处理的真空镀铝薄膜虽然镀铝层牢度有了明显提高,但对于一些对镀铝层附着牢度要求更高,或者需要用于水煮杀 菌条件时仍然不能满足要求。为了满足上述要求,通过在基材薄膜表面涂布一层丙烯酸类的化学涂层,该涂层不对镀铝层有优异的粘附性能,同时可以满足后续的水煮杀 菌条件。涂布后的包装可以满足巴氏杀 菌的要求,其镀铝层不会因为水煮而发生氧化。  二.为进一步提高镀铝膜的阻隔性能,同时保护镀铝层在后续的印刷、复合等加工过程中不被破坏,可以通过在镀铝层上涂布一层高阻隔的纳米涂层或聚合物涂层来实现。 三.为提高镀铝膜的装饰性能,在基材薄膜镀铝前或镀铝后进行各种颜色的涂布,或模压后再进行镀铝,使得镀铝膜具有多彩的颜色或具有镭射效果。此类产品可分为三种:包装用膜、装饰用膜、标示用膜。主要应用于礼品、礼盒的装饰或防伪包装用途,如食品、药品、玩具等的外包装以及酒等的防伪包装。靶材磁控溅射的原理是什么?无锡硒化铬靶材价格

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等离子预处理工艺在真空镀铝膜中的应用。 等离子体是电离了的气体。它由电子、离子和中性粒子3种成分组成,其中电子和离子的电荷总数基本相等,故整体是电中性的。在基材薄膜镀铝前,通过等离子处理装置将电离的等离子体中的电子或离子打到基材薄膜表面,一方面,可以打开材料的长分子链,出现高能基团;另一方面,经打击使薄膜表面出现细小的凹陷,同时还可使表面杂质离解、重解。电离时放出的臭氧有强氧化性,附着的杂质被氧化而除去,使镀铝基材薄膜的表面自由能提高,达到提高镀铝层附着牢度的目的。 等离子预处理技术在不同公司其称呼不同,如英国Bobst公司、德国Leybold Optic莱宝光电等称之为等离子预处理,美国Applied Material公司称之为辉光放电,英国Rexam公司为其注册商标为Camplus技术。另外,不同公司其使用的工艺气体的组分也有所不同,多数公司使用氧气和氩气的组合,也有少数公司使用氮气或氧气与氮气的组合。实践证明经过等离子处理后的薄膜其镀铝层附着牢度可以提高30-50%,且表现为非极性材料提高幅度高于极性材料。山东MoC靶材

江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外**研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。

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