扬州LiTaO3靶材
作为本发明 的技术方案，所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板。作为本发明 的技术方案，所述靶材呈凹形结构。作为本发明 的技术方案，所述靶材包括用于溅射的溅射面。 地，所述溅射面包括***平、第二平面和斜面。作为本发明 的技术方案，所述斜面与水平面的夹角≤10°，例如可以是10°、9°、8°、7°、6°、5°、4°、3°、2°或1°等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。作为本发明 的技术方案，所述斜面位于所述***平面和第二平面之间。 地，所述***平面为圆形。 地，所述第二平面为环形。作为本发明 的技术方案，所述靶材的材质包括铝、钽、钛或铜中的一种。作为本发明 的技术方案，所述背板的材质包括铜和/或铝。作为本发明 的技术方案，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为；所述靶材表面的硬度为20-30hv。熔融铸造法是制作溅射靶材的基本方法之一。扬州LiTaO3靶材
通过所述靶材抛光装置100同时对所述靶材600相交接的两个侧壁表面630进行抛光。具体的，所述抛光片部分310与所述靶材600的一个侧壁表面630相贴合，所述抛光片第三部分330表面与所述靶材600的另一个侧壁表面630相贴合，所述抛光片第二部分320表面与位于两个侧壁表面630间的侧棱601表面相贴合。操作人员相对所述靶材600移动所述靶材抛光装置100，移动方向平行与被抛光的所述侧棱601延伸方向，从而可同时对所述靶材600的两个侧壁表面630进行抛光，且还同时对位于两个侧壁表面630间的侧棱601表面进行抛光，有助于提高抛光作业效率。虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。南通二硼化钛靶材厂家关掉机器，把设备的溅射靶卸下来，靶附近的零件仔细清洗一下。
靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.75-6mm，例如可以是5.75mm、5.76mm、5.77mm、5.78mm、5.79mm、5.8mm、5.81mm、5.82mm、5.83mm、5.84mm、5.85mm、5.86mm、5.87mm、5.88mm、5.89mm、5.9mm、5.91mm、5.92mm、5.93mm、5.94mm、5.95mm、5.96mm、5.97mm、5.98mm、5.99mm或6mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。本发明中，所述靶材表面的硬度为20-30hv，例如可以是20hv、21hv、22hv、23hv、24hv、25hv、26hv、27hv、28hv、29hv或30hv等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。本发明中，通过调整靶材表面的高度差及硬度，保证溅射强度，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。作为本发明 的技术方案，所述靶材的比较大厚度为28-30mm，例如可以是28mm、28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm、29mm、29.1mm、29.2mm、29.3mm、29.4mm、29.5mm、29.6mm、29.7mm、29.8mm、29.9mm或30mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
利用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)，对所制备的非晶硅薄膜进行了定性和定量的表征，研究了溅射功率、衬底温度、溅射时间、氩气气压等因素对非晶硅薄膜表面形貌和厚度的影响。实验结果表明：非晶硅薄膜的表面粗糙度会随溅射功率、溅射时间和溅射气压的增加而增大，而随着衬底加热温度的增加而减小。 对制备的非晶硅薄膜在不同温度和时间进行了退火处理。再利用X- 射线衍射仪(XRD)和拉曼光谱仪，对不同退火温度的样品进行晶化程度的表征。实验结果表明：不同条件制备的非晶硅薄膜在750℃退火1 h 后就已发生不同程度的晶化，并且直流磁控溅射制备的非晶硅薄膜比射频磁控溅射制备的非晶硅薄膜更容易发生晶化;退火温度越高，非晶硅薄膜晶化速率越快。 此外，通过拉曼激光诱导晶化，结果表明：拉曼激光诱导非晶硅晶化为局域晶化，具有晶化速度快的特点;晶化过程中，需要控制激光强度，过强的激光会把非晶硅薄膜烧蚀掉。压靶盖旋的过紧，没有和靶材之间留下适当的距离，调整距离即可。
所述防护层400包括防护层和第二防护层，所述防护层覆盖所述顶板210底部表面；所述第二防护层覆盖所述侧板220的内侧面。所述防护层表面与第二防护层表面相垂直。本实施例中，所述防护层与第二防护层厚度相等。本实施例中，所述防护层与第二防护层为一体成型。在其他实施例中，所述防护层及第二防护层还可以为分体的。本实施例中，所述靶材抛光装置100还包括：把手，所述把手设置于所述固定板200的外表面上。为便于操作人员双手抓握，所述把手的数量为两个，其中一个所述把手设置于所述固定板200的顶部，另一个所述把手设置于所述固定板200的侧壁上，该设置方式有利于提高操作人员手持所述靶材抛光装置100进行抛光作业的便捷性。本实施例中，两个所述把手分别为把手510和第二把手520，所述把手510设置于所述顶板210上，所述第二把手520设置于所述侧板220上。对材质的要求：一般选用无氧铜和钼靶，厚度在3mm左右。杭州Ho靶材作用
有一部分靶材在安装之前需要抛光，比如铝靶材等活性金属靶材，长期暴露在大气中，表面容易形成一层氧化皮。扬州LiTaO3靶材
为确保足够的导热性，可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意一定要仔细检查和明确所使用溅射头冷却壁的平整度，同时确保O型密封圈始终在位置上。由于所使用冷却水的洁净程度和设备运行过程中可能会产生的污垢会沉积在阴极冷却水槽内，所以在安装靶材时需要对阴极冷却水槽进行检查和清理，确保冷却水循环的顺畅和进出水口不会被堵塞。有些阴极设计是与阳极的空隙较小，所以在安装靶材时需要确保阴极与阳极之间没有接触也不能存在导体，否则会产生短路。请参考设备商操作手册中关于如何正确安装靶材的相关信息。在收紧靶材夹具时，请先用手转紧一颗镙栓，再用手转紧对角线上的另外一颗镙栓，如此重复直到安装上所有镙栓后，再用工具收紧。扬州LiTaO3靶材
江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市，是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司，溅射靶材充分借鉴国外的先进技术，并通过与国内外知名研发机构合作，整合各行业资源优势，生产出多系列高品质溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属，合金，陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累，已经拥有：真空热压，冷压烧结，真空熔炼，热等静压，等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供高品质的靶材：平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台，冷压烧结炉一台，真空熔炼设备两台，等静压设备一台，等离子喷涂两套，绑定平台两套，各类机加工设备七台，检验设备若干，确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承：“一切以客户的需求为导向，客户的所有需求一次做好。”的发展理念。