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非晶硅薄膜的制备方法 非晶硅薄膜的制备方法有很多,如低压化学气相沉积(LPCVD),等离子体增强化学气相沉积(PECVD),直流(射频)磁控溅射等。生长多晶硅薄膜的方法有:化学气相沉积包括低压化学气相沉积(LPCVD)、大气压强化学气相沉积(APCVD)、等离子体化学气相沉积(PCVD)以及液相生长、激光再晶化和固相晶化法(SPC)等。固相晶化法是指在(高温)退火的条件下,使固态非晶硅薄膜的硅原子被、重组,从而转化为多晶硅薄膜。它的特点是非晶固体发生晶化的温度低于其熔融后结晶的温度。常规高温炉退火、快速热退火、金属诱导晶化、微波诱导晶化等都属于固相晶化的范畴。本文采用PECVD 和磁控溅射方法在不同的条件下制备了a- Si: H 和a- Si 薄膜,并采取高温退火和激光诱导晶化的方式,利用X- 射线衍射及拉曼光谱,对制备的非晶硅薄膜晶化过程进行了系统地研究。更换不同的靶材,起辉压强不尽相同。 换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉。常州镍铜靶作用
磁控溅射离子镀 (1)在基体和工件上是否施加(直流或脉冲)负偏压,利用负偏压对离子的吸引和加速作用,是离子镀与其它镀膜类型的一个主要区别。蒸发镀时基体和工件上加有负偏压就是蒸发离子镀 ;多弧镀时基体和工件上加有负偏压就是多弧离子镀;磁控溅射时基体和工件上加有负偏压就是磁控溅射离子镀,这是磁控溅射离子镀技术的一个重要特点。 (2)磁控溅射离子镀是把磁控溅射和离子镀结合起来的技术。在同一个真空腔体内既可实现氩离子对磁控靶材的稳定溅射,又实现了高能靶材离子在基片负偏压作用下到达基片进行轰击、溅射、注入及沉积作用过程。整个镀膜过程都存在离子对基片和工件表面的轰击,可有效基片和工件表面的气体和污物;使成膜过程中,膜层表面始终保持清洁状态。 (3) 磁控溅射离子镀可以在膜-基界面上形成明显的混合过渡层(伪扩散层),提高膜层附着强度;可以使膜层与工件形成金属间化合物和固熔体,实现材料表面合金化,甚至出现新的晶相结构。 (4)磁控溅射离子镀形成膜层的膜基结合力好、膜层的绕镀性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高,容易进行反应沉积,可以在较低温度下获得化合物膜层。苏州铂靶调试有一部分靶材在安装之前需要抛光。
PVD颜色膜之玫瑰金 玫瑰金,单从她那浪漫的名字,就能引起人们无数美妙的联想。在闪闪发光的黄金饰品与经典高雅的铂金饰品之后,色调柔和迷人的玫瑰金饰品渐成为时尚人士的“新宠”,以她特有的风格与文化,演绎出贵金属饰品的又一片崭新天地。通常玫瑰金由75%的黄金与其它合金组成(俗称三色金)。 硬度较纯金高,与传统的黄金和铂金相比,粉红色的玫瑰金不但能使有色宝石的色彩更加浓重,还体现了金属材质的精致、细腻。其粉红、玫瑰等暖色调给人们带来温暖与愉快;在款式上也是千姿百态,有心形、榄尖形、椭圆形、梨形、祖母绿形。各种风格迥异的饰品,可谓璀璨耀眼,女性无论是着职业装,还是晚礼服及吊带裙,与之相配都显出高雅的气质。 玫瑰金颜色近几年在手表行业非常流行,很多品牌都采用PVD在不锈钢表壳和表带上沉积玫瑰金涂层的方式进行,行业内叫IP玫瑰金,其工艺已经非常成熟。玫瑰金镀层一般有仿金层和玫瑰金层构成,底层的仿金层一般为TiCN,主要是增加玫瑰金的硬度和耐磨度。
氧化物镀膜技术在真空镀铝膜中的应用 近年来,迅速发展微波加热技术给微波食品包装及需经微波杀 菌消毒的一类商品的包装提出了新的要求,即包装材料不要具有优良的阻隔性能,而且还要耐高温、微波透过性好等特性,传统的包装材料很难具备这些特点。因此,近年来日本、德国、美国等国家大力研究开发新型的高阻隔性包装材料——SiOX和其它金属氧化物镀膜复合材料。这类材料除了阻隔性能可以与铝塑复合材料相媲美外,同时还具有微波透过性好、耐高温、透明、受环境温度湿度影响小等优点。 非金属镀膜可采用蒸镀原料可采用SiOX、SiO2,也可以采用其它氧化物如Al2O3、 MgO、Y2O3、TiO2、Gd2O3等,其中常用的是SiOX、AlOx。氧化物镀膜的蒸发源有电阻式和电子束两种,电阻式蒸发源以电阻通过发热的原理来加热蒸镀原料,高加热温度可达1700℃。电子束蒸发源利用加速电子碰撞蒸镀原料而使其蒸发,蒸发源配有电子,在材料局部位置上而形成加热束斑,束斑温度可达3000~6000℃,能量密度高可达20KW/cm2。 实验表明只有PP、PET、PA等材料才能较适合氧化物镀膜加工。溅射过程不影响靶材合金、混合材质的比例和性质。
真空镀膜设备替代电镀设备是发展的必然 2012年全国化学电镀产生的污水和重金属排放量达到3.5亿吨,固体废物达到4.1万吨,酸性气体达到2.3万立方米,由于真空镀膜设备逐渐应用到市场上,污染排放量比2011年有所下降,但仍是一个不可忽视的数据,为处理这大量的污染,大部分企业已投放了共5868.1亿元在污水治理方面,464.8亿元在固体废物治理方面,974.9亿元在酸性气体治理方面,但仍然有部分企业没有完善治理措施,造成大量污染。 使用真空镀膜设备进行电镀可以有效改善污染情况,它不像化学电镀需要使用重金属溶液和酸性溶液进行镀膜,而是在真空环境下利用蒸发或溅射方式进行镀膜,完全没有污染产生,是一种绿色低碳、符合可持续发展战略的产业,已经越来越多企业淘汰了旧方式化学电镀而转用真空电镀,但还有很多企业没意识到环保的重要性,不懂得绿色生产其实是为自己和后代创建美好生存环境的道理。 绿色环保产业是必然的发展趋势,造成严重污染的化学电镀终会退出历史舞台,取而代之的是真空电镀,利用真空镀膜机镀膜成为主流是不可质疑的。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400V-600V之间,当发生靶中毒时,溅射电压会***降低。镇江锰镍酸锂靶功能
通常是放热反应,反应生成热必须有传导出去的途径,否则,该化学反应无法继续进行。常州镍铜靶作用
6. 起辉溅射真空度与前次的差别?
---------更换不同的靶材,起辉压强不尽相同。
换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉。 五.磁控溅射一定要求靶材表面要抛光吗?磁控溅射过程中,等离子体的离子撞击靶材,溅射出靶材的原子、原子团、离子、电子、光子等,原子、离子、原子团沉积到基材上形成薄膜。
溅射发生在靶材表面,靶材表面物理状态不均匀也没有关系,溅射的时候会先溅射凸起,溅射时间长了,靶材自己就平了。所以物理不均匀的状态不需要抛光。 常州镍铜靶作用
江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外知名研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列高品质溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供高品质的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。
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