浙江研磨化学减薄机厂家
研磨减薄机之化学机械研磨的特点:研磨减薄机之化学机械研磨技术综合了化学研磨和机械研磨的优势。单纯的化学研磨,表面精度较高,损伤低,完整性好,不容易出现表面/亚表面损伤,但是研磨速率较慢,材料去除效率较低,不能修正表面型面精度,研磨一致性比较差;单纯的机械研磨,研磨一致性好,表面平整度高,研磨效率高,但是容易出现表面层/亚表面层损伤,表面粗糙度值比较低。化学机械研磨吸收了两者各自的优点,可以在保证材料去除效率的同时,获得较完美的表面,得到的平整度比单纯使用这两种研磨要高出1-2个数量级,并且可以实现纳米级到原子级的表面粗糙度。尽量保持研磨运动平稳,在研磨过程避免曲率过大的运动转角。浙江研磨化学减薄机厂家
研磨减薄机为精密研磨抛光设备,被磨、抛材料放于平整的研磨盘上,研磨盘逆时钟转动,修正轮带动工件自转,重力加压或其它方式对工件施压,工件与研磨盘作相对运转磨擦,来达到研磨抛光目的。产生磨削作用的磨料颗粒有两种来源,一种来自于不断外加(常称为游离磨料);另一种方法是将磨料颗粒固定在研磨盘中(常称为固着磨料)。减薄机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。上海平面化学减薄机供应商在研磨减薄机中单面减薄机主机采用变频调速电机驱动,配置大功率减速系统,软启动、软停止,运转平稳。
减薄机维修与保养:1、容器的橡胶衬里,通常采用天然橡胶为主原料,因而不要把强碱、强酸、油和其它溶剂等置入容器内。如果把这类物质带入容器内,橡胶会泡胀和溶解,橡胶会与钢板脱离,从而损伤内衬橡胶并污染加工零件。所以光整工件时必须使用我厂配套的研磨剂,由于光整的目的、工件和条件不同,橡胶衬里也包括在消耗品中。容器采用聚氨酯作衬里,其各项性能指标优于橡胶,尤其是耐磨性,但也必须正确使用和维护保养,才能提高其使用寿命。2、光整完毕后。用户在清洗工件,研磨石及研磨槽时,不要把水浇到容器盖板上,以免电机进水。减薄机主要特点:机床造型及内部结构充分考虑了操作和维修的方便性。
减薄机在磨削时具有以下几个优点: 1.能实现延性域的磨削。高速减薄机在加工硬脆性材料时,当磨削浓度小于某一临界点时,可以实现延性域的磨削。可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制驱动模式,砂轮的进刀速度0.001-0.005mm/min可调,控制精度较高能实现极微小的磨削深度。 2.高效的磨削效率。通过同时提高硅片车速和砂轮轴向进给的速度,可以在保持与普通磨削的磨削深度情况下,达到较高的的材料去除率,适用于大余量的磨削。 3.砂轮与硅片的接触长度,面积。切入角度不变,磨削力恒定,加工状态稳定,可以避免硅片出现中心凸和塌边等现象。能自动调节工件磨削速度,能保证工件在磨削过程不会因为压力过大而产生变形与破损。可使直径150晶片伊迪亚减薄到0.08mm厚而不会产生破碎,且平行试可控制在0.002mm左右的范围内。研磨减薄机主要特点:机床造型及内部结构充分考虑了操作和维修的方便性。
大型研磨减薄机的结构特点如下:1.系列大型研磨减薄机运行采用四台电机驱动,可以给上研磨盘、下研磨盘、齿圈、太阳轮单独进行调速,使研磨达到较理想的转速比,其太阳轮相对与其它三个转速的速比可作无级调速,使游轮可实现正转、反转,满足了不同研磨及修盘工艺的需求。2.系列大型研磨减薄机采用PLC程控系统,触摸屏操作面板,电机采用变频调速,电机转速与运行时间可直接输入触摸屏。3.系列减薄机采用四段压力,即轻压、中压、重压、修研的运行过程。4.系列大型研磨减薄机为下研磨盘升降方式,下研磨盘的高低位置可在总行程范围内随意停留自锁,以满足改变游轮啮合高低位置的需要。5.可根据用户要求增加光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内;平面度公差可控制在±0.001mm范围内。对厚薄不等和平面度精度要求不同的工件,研削效率与研磨压力在70到350克力的压强范围内是成正比的。浙江双面化学减薄机供应商
研磨减薄机对于一些薄脆性的材料,像是密封环、陶瓷片或者玻璃等等进行平面的研磨和抛光。浙江研磨化学减薄机厂家
进行高质量平行平面研磨时较好使用双面研磨,研磨减薄机为了在工件上得到均匀而不重复的研磨轨迹,研磨时将工件放在工件保持架内,上,下均有研磨盘。下研磨盘有电动机带动旋转,工件保持架制成行星轮的形式,外面和内齿轮啮合,里面和小齿轮啮合。所以工作时工件将同时有自转和公转来作行星运动。上研磨盘一般情况不转动或者偶尔转运,可加载并有一定的浮动以避免两研磨盘不平行造成工件两研磨面不平行。同时由工件与研具的相对运动轨迹对工件面形精度有都重要影响,对其基本要求都有1.工件相对研具做平面平行运动,能使工件上各点具有相同或相近的研磨行程。2.工件上任意一点,尽量不要出现运动轨迹的周期性重复。3.尽量保持研磨运动平稳,在研磨过程避免曲率过大的运动转角。4.保证工件走遍整个研具表面,使研磨盘得到均匀磨损,进而保证工件表面的平面度。5.常用次摆线、外摆线和内摆线轨迹等运动轨迹。同时及时变更工件的运动方向,使研磨纹路复杂多变,这样不只有利于降低表面粗糙度,并保证其表面均匀一致。浙江研磨化学减薄机厂家