上海半导体材料减薄机种类

单晶硅片是由纯度极高的单晶硅制成，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，单晶硅圆片也成为晶元，是生产集成电路所用的载体，在集成电路的生产过程中起着至关重要的作用。在晶元硅片的使用过程中，有时需要对晶元表面进行减薄处理。然而，现有市场上的晶元减薄机一般是直接将单晶硅片放进清洗设备的内部，通过直接对设备内部加注进行辅助加工的酸性溶液进行工作，但是直接的摆放硅片可能会在进行加工的过程中对其造成损伤，并且飞溅的碎屑也会对其他的硅片造成损伤，无法保证加工产品的质量和加工效率，浪费资源增加了运营的成本。减薄机减薄到一定的厚度有利于后期封装工艺。减薄到一定厚度有利于后期封装工艺。上海半导体材料减薄机种类

减薄机采用真空吸盘，硅片等脆性材料要求减薄厚度在微米之间，比较容易损坏，甚至可能在磨削过程中已经损坏，比较难磨削达到要求。并且硅片、兰宝石在磨削过程中产生热量比较小，它们本身自带散热性，而陶瓷片等不具有散热性或散热性比较小，片子磨削较薄，在磨削产生热量和冷却过程中，由于表面和内部产生温差，膨胀程度不同而形成过大的内应力，将会引起片子的变形和损坏，减薄的片子本身材料脆，厚度薄，比较难确保在厚度达标的情况下保证片子完好无损。减薄机采用手动装片方式，配置自动厚度测量和补偿系统，可自动研削至目标值。杭州CMP化学机械减薄机减薄机工作台可根据客户需求进行定制化，应用极广。

多工位减薄机，多工位打磨提高了生产效率和打磨效果，对接驱动机构能够和工件轴完成自动对接，同时驱动工件轴自动旋转，提高了打磨过程在工位切换的流畅性。它包括公转平台，公转平台上包含多个工位，其中包括至少一个材料取放工位和多个打磨工位，每个工位上均设置有工件轴，每个打磨工位均设置有毛刷组件以及用于对工件轴进行自动对接并驱动工件轴进行旋转的对接驱动机构。公转平台包括安装在机座上的转盘，转盘与多工位分割器连接，多工位分割器与转盘驱动电机连接。

立式减薄机采用高精密丝杆及导轨组件，驱动方式是伺服驱动，可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速，也就是砂轮的进刀速度，速度0.001-5mm/min可调，控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。采用先进的中国台湾品牌PLC和触摸屏，自动化程度高，实现人机对话，操作简单一目了然。设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度，从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损，自动补偿砂轮磨损厚度尺寸，可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。磨床能加工硬度较高的材料，如淬硬钢、硬质合金等。

随着半导体技术的快速发展，半导体设备也在一代接一代的创新和发展，当今半导体设备的制造和使用涉及50多个学科和60多种化学元素等诸多方面的高技术，具有较强的技术综合性。如：硅、锗晶片(半导体器件)，铌、钽酸锂晶片(声表面波器件)，兰宝石(LED元件)、电子陶瓷(各种传感器)等脆性材料。脆性材料的应用越来越极广，尤其是在高新技术应用领域和前端技术应用领域发挥着不可代替的作用，半导体硅等材料作为集成电路制造的重要基体材料这时候的减薄机就需要发挥他的作用。全自动减薄机产品特点：配置丰富。上海半导体材料减薄机种类

堵头设计，在不使用或者减少气管时，堵住吸盘的安装孔，减少空气粉尘地进入造成堵塞。上海半导体材料减薄机种类

蓝宝石减横机丝杆进给组件采用高精密丝杆及导轨组件，驱动方式为伺服驱动。由以上组件构成的蓝宝石减横机具有非常高精密的加工能力及双面平行度控制能力，它能加工工件厚度在5u以下的工件。并且不发生断裂、塌边、划痕等现象。蓝宝石减横机目前以前已经有了两种机型、卧式蓝宝石减横机及立式蓝宝石减横机，前者一般加工直接在200mm以内的工件，后者加工直径在300-500mm的工件。该种蓝宝石减横机，在目前LED蓝宝石生产线上，被公认为目前国内极好的减横机。上海半导体材料减薄机种类