上海硅片减薄机公司

时间:2021年03月15日 来源:

单晶硅片是由纯度极高的单晶硅制成,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,单晶硅圆片也成为晶元,是生产集成电路所用的载体,在集成电路的生产过程中起着至关重要的作用。在晶元硅片的使用过程中,有时需要对晶元表面进行减薄处理。然而,现有市场上的晶元减薄机一般是直接将单晶硅片放进清洗设备的内部,通过直接对设备内部加注进行辅助加工的酸性溶液进行工作,但是直接的摆放硅片可能会在进行加工的过程中对其造成损伤,并且飞溅的碎屑也会对其他的硅片造成损伤,无法保证加工产品的质量和加工效率,浪费资源增加了运营的成本。减薄机减薄到一定的厚度有利于后期封装工艺。在我们使用减薄机之前我们要提前半小时磨料配比及搅拌工作。上海硅片减薄机公司

晶圆制造工艺中,对晶片的尺寸精度、几何精度、表面洁净度以及表面微晶格结构提出很高要求,因此在几百道工艺流程中,不可采用较薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工艺过程中传递、流片,通常在集成电路封装前,需要对晶片背面多余的基体材料去除一定厚度。这一工艺过程称之为晶片背面减薄工艺,对应装备就是晶片减薄机,在减薄过程中,晶圆由于表面中间和边缘的厚度不一致,在去除其中间厚度的时候会因为其强度不同,导致破裂,吸盘无法吸附,直接掉落工作台,变得碎裂,清理麻烦。江苏手动减薄机厂家减薄机是一款操作简单、功能丰富、性价比高的高精度研削设备。

减薄机是一款操作简单、功能丰富、性价比高的高精度研削的设备,采用手动装片方式,配置自动厚度测量和补偿系统,可自动研削至目标值。工作台可根据客户需求进行定制化,应用极广。具有自动测厚补偿、多段研削程序、超负载等待等功能,满足各类工艺需求;PC工控机系统,触摸屏控制,除手动上、下片外一键式自动完成研削加工;可根据客户需求定制化各类工作台,满足各类半导体材料的研削薄化工艺;尽量减少洁净间的占地面积;半自动双轴减薄机是一款安装两个砂轮轴的高精度研削设备,采用了手动装片方式。

新型的减薄机吸盘装置,包括砂轮主轴及通过螺钉安装在砂轮主轴下方的砂轮,其砂轮主轴上端连接有动力驱动装置;其特征在于:的砂轮主轴通过螺钉与砂轮组成一体式结构的磨削装置,其的磨削装置下方设有磨削工作台,的磨削工作台包括真空装置及通过螺钉安装在真空装置上方的吸盘,由于真空装置的腔体与吸盘形成了一体式的真空吸盘,且吸盘上通过真空吸附有上设有簇状吸附孔的散热工作台,且散热工作台由铝或不锈钢或铝箔制成,其使吸盘的真空吸附通过簇状吸附孔将磨削工件吸附在散热工作台上。横向减薄机磨削阻力小、工件不会破损。减薄机在减薄后应对衬底背光进行抛光。

除线减薄机采用了在机架上左右对称加工有弧形槽,大电机的输出轴穿过弧形槽与大刀盘连接,电机固定架的外侧设置有滚轮,滚轮可沿着安装在机架上的轨道滑行,从而带动电机固定架移动,使得大电机的输出轴在弧形槽内滑动,大刀盘收缩或者伸展,避开机场跑道上设置的照明灯,大刀盘和小刀盘呈品字形排列,这种排列方式使刀盘的刮擦去除效果更佳,在机架后部设置小刀盘,小刀盘可以弥补刮擦两个大刀盘中间没有去除的标线。本实用新型具有结构简单、操作灵活、成本低、效率高、不易产生粉尘等优点,可推广应用到已完成路面标线清楚设备或装置领域。减薄机尽量减少洁净间的占地面积。江苏研磨减薄机供应商

减薄机可根据客户需求定制化各类工作台,满足各类半导体材料的研削薄化工艺。上海硅片减薄机公司

蓝宝石减横机是一款用于加工蓝宝石、光学玻璃、硅片、石英等晶体材料进行研磨和减横的机器。该减横机由吸盘、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆进给组件等组成。吸盘可分为电磁吸盘和真空吸盘,其直径大小一般为320-600mm。砂轮的大小事根据蓝宝石减横机直径大小来定,一般有150-170-210mm的规格,砂轮的颗粒度是根据客户对工艺的要求定制。砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速,可根据蓝宝石减横机不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。上海硅片减薄机公司

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