杭州精密减薄机生产厂家

吸盘式晶元硅片减薄机，包括设备机箱，设备机箱的左侧固定连接有进液管，进液管上固定连接有分流管，设备机箱的上端开设有进料口，进料口内开设有固定槽，进料口内活动安装有密封盖，密封盖的上端活动安装有提拉把手，密封盖的下端固定安装有安装卡块，密封盖的外侧活动安装有弹性圈，设备机箱的右侧上端活动安装有驱动电机，驱动电机的外侧活动安装有防护罩，防护罩外侧预留有散热孔，驱动电机的下端活动安装有驱动轴，驱动轴的下端活动安装有输出锥形齿轮，输出锥形齿轮的左侧啮合连接有接受锥形齿轮，接受锥形齿轮的左端活动安装有传动轴，传动轴的左侧活动安装有定位板，定位板的左侧活动安装有清洗滚筒。横向减薄机硅片每分钟可减薄250um。杭州精密减薄机生产厂家

硅片自旋转减薄机的特点：(1)可实现延性域磨削.在加工脆性材料时，,当磨削深度小于某--临界值时,可以实现延性域磨削通过大量试验表明,Si材料的脆性、塑性转换临界值约为0.06m.进给速度厂控制在10~m/min,承片台转速取200r/min,则每转切割深度可达到0.05m.对于自旋转磨削由公式可知,对给定的轴向进给速度,如果，工作台的转速足够高,就可以实现极微小磨削深度。(2)可实现高效磨削.由公式可知，通过同时提高硅片转速和砂轮轴向进给速度,可以在保持与普通磨削同样的磨削深度情况下,达到较高的材料去除率，适用于大余量磨削。杭州数控减薄机种类全自动减薄机有全自动上下片，干进干出的全自动研削系统；

减薄机减薄到一定的厚度有利于后期封装工艺。然后通过机械加工和化学反应的方法对样品进行一系列减薄研磨抛光的工艺，样品表面到达所需要的厚度，平整度，粗糙度。 那个在工艺上出现的一些问题需要怎么去解决呢，上蜡后平整度大于正负5um，我们要调整蜡层厚度及上蜡的压力。减薄后厚度均匀性需要对砂轮进行修平，校正砂轮环中心固定螺母及球轴承主轴。当减薄后片子出现裂痕我们需要对砂轮进行修锐并检查减薄步进速率，当研磨抛光后厚度均匀性较差时，我们要用平面度测量规测量盘面，用小块的砝码重力修正。

硅片酸洗减薄机箱体内支撑有旋转提篮，旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及提手组成，圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成，半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接，围笼本体底面均匀间隔设置多个隔棱，箱体外侧一端固定有滑道且滑道上方滑动连接有支座，支座的水平板面上固定有倒置的伺服电机，伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的转轴相连，箱体的内侧壁上另固定有循环水管。结构设计合理、操作方便，实现硅片单面化学减薄，不仅生产批量大，而且提高了成品率，节省资源，降低生产成本。蓝宝石减薄机丝杆进给组件采用高精密丝杆及导轨组件，驱动方式为伺服驱动。

吸盘式晶元硅片减薄机，在现有的酸洗减薄机的基础上进行设计，通过增加能够对单晶硅片进行安装固定的吸气盘，并且配合上整体的圆形回转式的结构，能够通过电机驱动带动设备进行工作，也能通过增加密封圈防止硅片出行偏移，吸盘的强力吸附力，能减少硅片出现破裂损坏，也不会因为硅片的破裂对其他的硅片造成伤害，一次性能够加工多个硅片，加快加工的速度，提升加工的效率，提高产品质量产量的同时，减少运营成本的投入。对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型。蓝宝石减薄机目前以前已经有了两种机型、卧式蓝宝石减薄机及立式蓝宝石减薄机。杭州精密减薄机生产厂家

横向减薄机可用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、钨钢片等各种材料的快速减薄。杭州精密减薄机生产厂家

新型的减薄机吸盘装置，包括砂轮主轴及通过螺钉安装在砂轮主轴下方的砂轮，其砂轮主轴上端连接有动力驱动装置；其特征在于：的砂轮主轴通过螺钉与砂轮组成一体式结构的磨削装置，其的磨削装置下方设有磨削工作台，的磨削工作台包括真空装置及通过螺钉安装在真空装置上方的吸盘，由于真空装置的腔体与吸盘形成了一体式的真空吸盘，且吸盘上通过真空吸附有上设有簇状吸附孔的散热工作台，且散热工作台由铝或不锈钢或铝箔制成，其使吸盘的真空吸附通过簇状吸附孔将磨削工件吸附在散热工作台上。杭州精密减薄机生产厂家