半自动探针台机构

初TI退休工程师杰克·基比(Jack St. Clair Kilby)发明颗单石集成电路，为现代半导体领域奠定基础时，晶圆直径不过1.25英寸～2英寸之间，生产过程多以人工方式进行。随着6英寸、8英寸晶圆的诞生，Align/Load的校准工作和一些进阶检测也开始自动化；直到12英寸晶圆成形，可谓正式迈入 “单键探测”(One Button Probing)的全部自动化时代，就连传输也开始借助机器辅助；但此时的测试大都是转包给专业的厂商做，且大部分是着重在如何缩短工艺开发循环的参数测试上。芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片集成电路上进行的电学参数测量。半自动探针台机构

正确地使用探针台，可有效地提高操效率，减少误操作造成样品和探针耗材的损伤、损耗。本文以探针台的使用方法为例，为您讲解如何使用手动探针台。主要包含了两部分的教学内容：如何使用显微镜观察和如何使用定位器将探针扎到待测点上。如何正确地使用显微镜、用显微镜观察待测样品。（1）打开显微镜光源，调节光源亮度。将待测样品（或待观察位置）移至显微镜光斑下。（2）确认显微镜调焦架处于行程中间位置，即调焦架的导轨对齐。若有偏差，可以通过旋转调焦架粗调旋钮对齐。吉林智能探针台配件厂家圆片移动到下一个芯片的位置，这种方法可以让圆片上的每一个芯片都经过测试。

在实际使用中，探针的接触电阻在很大程度上取决于焊点的材料、清洗的次数、以及探针的状况，而且它同标称值相差较多。其中钨铼合金（97%-3%）的接触电阻比钨稍高，抗疲劳性相似。但是，由于钨铼合金的晶格结构比钨更加紧密，其探针顶端的平面更加光滑。因此，这些探针顶端被污染的可能性更小，更容易清洁，其接触电阻也比钨更加稳定。所以钨铼合金是一种更佳的选择。但是，接触电阻是信号路径电阻的重要组成部分。即接触电阻、探针电阻、焊接电阻、trace电阻、以及弹簧针互连电阻的总和。

探针台是检测芯片的重要设备，在芯片的设计验证阶段，主要工作是检测芯片设计的功能是否能够达到芯片的技术指标，在检测过程中会对芯片样品逐一检查，只有通过设计验证的产品型号才会量产。晶圆测试一般在晶圆厂、封测厂或专门的测试代工厂进行，主要用到的设备为测试机和探针台。半导体的测试环节，主要包括芯片设计中的设计验证、晶圆制造中的晶圆测试（CP测试）和封装完成后的成品测试（FT测试）。半导体测试设备主要包括测试机、探针台和分选机。在所有的测试环节中都会用到测试机，不同环节中测试机需要和分选机或探针台配合使用。如果是不合格的芯片，打点器立刻对这个不合格的芯片打点。

电缆安装探针既可以手动使用，也可以与多轴探针定位器一起使用。与典型的探针台不同，这些探针足够大，操作员可以手动使用，非常可靠。探针定位器的位置精度和可重复性更高，而且本身可以放置，便于进行测试。与探针台不同，同轴电缆安装探针和定位器可以在工程师或技术人员的典型测试台上用作网络分析仪、信号发生器、频谱分析仪、示波器和其他用于射频/微波、毫米波和高速数字应用的配件。电缆安装射频探针的占位面积小、无损坏，并且具有非侵入式设计，可在高密度应用中进行测试，例如天线阵列、超材料、分形天线、微带传输线、紧凑组件以及具有微小表面安装包装组件的印刷电路板。焊针时，应凭自己的经验,把针尖离压点中心稍微偏一点。广东直流探针台报价

硅片测试的目的是检验可接受的电学性能。半自动探针台机构

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