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蠕动泵分类：蠕动泵的操作和使用，分为：1.基本型蠕动泵：具备蠕动泵的基本控制功能，主要是控制蠕动泵的电位器调速。可按键调节、数码显示转速、启停、正反转、转速调节、掉电记忆、外控输入等功能，还设有全速键，可实现作用物地快速填充或是排空。2.流量型蠕动泵：除具备基本型功能之外，还增加了流量显示、通讯、定时定量等功能。此类蠕动泵能通过校正功能来保证流体较高的精度，还可设置分配的参数，以此来实现自动分配灌装。3.分配型蠕动泵：分配型的蠕动泵其实与流量型的非常相似，还具备了历史参数储存能，可及时调取常用参数设置，既方便又快捷。4.工业型蠕动泵：此类蠕动泵采用大扭矩，免维护的直流无刷电机驱动，主要应用于工业生产过程中大流量传输的转速泵。5.防爆型蠕动泵：大扭矩，免维护交流减速电机驱动，可以变频器调速。在传播粘稠液体或者传输对剪切特殊流体的时候效果更佳。6.定制型(OEM)蠕动泵：体积小，适合精度不高的各种环境下的小流量液体输送。客户可根据自身设备的需求,设计不同的蠕动泵驱动电路配套使用。7.手持型蠕动泵：可实现野外取样、在线监测取样等，能充分保证取样的洁净，可采集高粘度液体、含颗粒液体分层取样，操作简便且易于清洗。微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。贵州真空泵服务热线

微型真空泵除了可以用于气体采样，气体循环、气体采集分析、加速过滤、真空吸附、真空抽滤、抽气打气等等用途外，还可用于民用，如美容、拔火罐等等。它在科研、医疗、仪器仪表，化工分析，生物工程，自动控制，环保，水处理等众多领域的用途非常之多，在某些领域甚至取代了大型真空泵。抽气打气两用型微型真空泵，除了抽气口、排气口可以同时提供负压、正压外，他们的抽排气端可以带如阀门、过滤网一类的大负载，甚至堵死了都属于正常运转。如FM、FAA、PCF系列。 加工真空泵哪家好蠕动泵在停止工作后松开压管模块能够较大限度的延长蠕动泵软管的使用寿命。

蠕动泵的系统，电机和泵头。泵头里有一个软管和滚轮。滚轮是用来挤压和释放软管，当滚轮旋转时，就会驱使流体在软管中流动系统通过改变电机的方向和速度来调节流体的流速和方向，其工作原理就是依靠多个滚轮对软管施加压力，伴随着滚轮的移动，管内形成负压，促使其内部的流体向前移动。蠕动泵的运动部件不会直接与流体接触的，所以不会产生交叉污染。软管是与流体接触的部件，因此对泵内部件进行清洁和是非常容易的。还有就是蠕动泵具有可防止回流和虹吸效应、精度高，并且能实现双向同等流量输送等。

有些真空泵因为高速运动部件制造比较困难，微型化后性能会大幅下降。如宏观低真空比较常用的旋片泵，微型化时要保证旋片和腔体间严格密封以及高度耐磨，这对加工容差提出了很高的要求，迄今仍不能很好实现。利用先进LIGA（Lithographie，Galvaonoformung & Abformung） 技术实现的、与旋片泵原理比较接近的微型精密旋转齿轮泵，功能还只限于液体抽运，而不能有效用于实现真空[10]。宏观高真空比较常用的涡轮分子泵，虽然已有针对小型化的新设计提出[11]，但因其高速叶轮和复杂结构制造与微加工兼容较差，目前只有部分采用微加工技术的准微型化样品[12]，全MEMS 微加工技术的分子泵成品尚未见报道。活塞泵靠活塞往复运动，使得泵腔工作容积周期变化，实现吸入和排出液体。

微型化真空泵技术及发展本节简要介绍一些研究进展较为明显，或当前关注度较高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵。2.1微型化膜片泵典型的单级膜片泵通常由一个腔体、一个泵膜、两个阀门和一个致动器组成，它利用泵膜的往复运动营造腔体容积的周期性变化，利用单向阀门控制气体流向，实现气流的定向引入、输出。膜片泵的原理、结构相对简单，膜片材料可使用硅、电介质和多种聚合物，驱动机制可采用静电、压电、电渗、气动和磁力等[16]。关键部件的材料及加工都兼容MEMS工艺，使得膜片泵比较容易和其他微型器件集成，构建片上型系统[17]。蠕动泵的工作原理是通过交替压缩和释放软管来实现液体输送，因此它对液体的搅动非常小。贵州真空泵服务热线

无油真空泵是一种无需任何油作润滑既能运转工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作容易、维护方便。贵州真空泵服务热线

微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面，分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性，介绍了膜片泵、射流/ 扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展，并总结了当前存在的技术障碍。结果表明，目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后，其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低，但具有低功耗、可集成优势，对便携式系统和高真空微系统十分必要。贵州真空泵服务热线