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12.4.1洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构,并应具有稳定、可靠、节能、开放和可扩展性。12.4.2洁净厂房应对净化空调、供热、供冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控。12.4.3洁净室(区)内外的压差监测,宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室(区)的送风量或回风量。12.4.4净化空调系统采用电加热器时,电加热器与风机应联锁控制,并应设置无风、超温断电保护;当采用电加湿器时,应设置无水、无风断电保护。12.4.5在满足生产工艺要求的前提下,宜对风机、水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。安徽纯化水检测洁净室检测诚信推荐

随着生产工艺对纯水水质的不断提高,甚至到了理论纯水的程度,尤其是集成电路的发展不但对水中电解质的含量要求极其严格,而且对细菌、微粒、有机物及溶解氧等都有极其严格的要求;医药工业中要求供应的注射用水,对水中含菌量、热源均有严格要求。除了严格的纯水制造过程外,纯水输送管道的管材选择和管网设计是保证使用点水质的关键。实践证明,采用循环供水方式是行之有效的。主要是基于保证输水管道内的流速和尽量减少不循环段的死水区,以减少纯水在管道内的停留时间,减少管道材料微量溶出物(即使目前质量比较好的管道也会有微量物质溶出)对超纯水水质的影响,同时,基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止细菌微生物的滋生。过滤器洁净室检测认真负责管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。

8.1.1洁净室(区)工业管道的敷设应符合下列规定:1洁净室(区)内工业管道不应穿越无关的房间。2干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。3易燃、易爆、有毒物质管道应明敷。4当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时,必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。8.1.2洁净室(区)工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB50316的有关规定。8.1.3工业管道设计应符合下列规定:1应按输送介质的物化性质,合理确定管内物料流速和管径。2在满足生产工艺的条件下,管道系统应尽量短。3应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。4管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。8.1.4工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。8.1.5可燃气体管道、氧气管道的末端或比较高点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m,并应有防雨、防杂物侵入的措施。
洁净厂房中生产区、辅助区和各类生产设备的布置与洁净室(区)内的气流流型、空气洁净度等级的保持密切相关,所以本规范规定:在洁净室(区)内要求空气洁净度严格的工序(设备)应远离出人口和可能干扰气流的场所设置,并宜布置在上风侧;空气洁净度等级要求相同的工序或工作室相对集中布置等都是电子产品洁净室(区)内布置的基本要求。另外,由于电子产品更新换代快,电子工厂在实际生产中,在线维修及调试、边生产边增加设备扩大生产能力的情况很多,因此在做工艺布局时,应根据具体情况,考虑这些因素,留出相应的运作空间。为避免不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间的频繁联系发生交叉污染,应根据电子产品生产工艺要求合理选择相应技术措施,如人的联系应采用气闸室或空气吹淋室;大物件的运送也可以采用气闸室,一般物件的运送可采用传递窗;穿越隔墙的管线应采用可靠气密措施等。当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。

4.2.1洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等,也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。4.2.2电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间,应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。4.2.3洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定,各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时,宜采用微环境等型式。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。洁净度洁净室检测方法
应按输送介质的物化性质,合理确定管内物料流速和管径。安徽纯化水检测洁净室检测诚信推荐
15.3.2有微振动控制要求的洁净室(区),其建筑结构的微振动控制设计,应符合下列规定:1建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上,且基础应有足够刚度;2应设置**的建筑结构微振动控制体系,并应与厂房主体结构分隔;3主体结构应根据微振动控制的要求,适当加大梁、柱、墙、基础等截面尺寸。15.3.3有强烈振动的设备和管道,宜采取主动隔振措施,并应符合下列要求.1宜采用隔振台(座);2应选用刚度适当的隔振器,3通往洁净室(区)的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性连接等隔振措施。安徽纯化水检测洁净室检测诚信推荐
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