江苏2000真空镀膜机生产厂家
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电磁铁122顶出磁片223,顶盖22离开出气管11口,空气及粉尘从出气管11排出,当顶盖22的动触点224与静触点123接触时,气缸53通电,伸出伸缩轴,利用空气压力将挤压管52中的水喷出,粉尘遇水沉降落入沉降管51底部,镀膜机1内达到相应的真空度时,反方向按下开关13,电磁铁122在换向器的作用下电流改变,磁极改变,产生与磁片223相反的磁极,电磁铁122与磁片223相吸,此时真空泵4断电,动、静触点断开,气缸53断电,顶盖22紧紧地盖在出气管11口上。上述实施例中,开关13为双向开关,往一方向按下时,真空泵4与电磁铁122均通电,往另一方向按下时,真空泵4断电,电磁铁122在换向器的作用下电流方向发生改变,产生相反的磁极。在进一步的实施例中,结合图2可得,宝来利真空连接套12远离镀膜机1一侧设有宝来利真空安装位121;宝来利真空安装位121位于出气管11两侧;宝来利真空安装位121内固定有电磁铁122;顶盖22靠近镀膜机1一侧设有第二安装位222;第二安装位222与宝来利真空安装位121位置相对应;第二安装位222内固定有磁片223;电磁铁122与磁片223分别通过胶水固定在宝来利真空安装位121以及第二安装位222中;利用磁铁“同极相斥、异极相吸”的原理,控制顶盖22的关闭和打开。上海滤光片真空镀膜机设备厂家宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,镍铬,有需要可以咨询!

这样就可以及时打开密封门,将基板取出准备下一次镀膜,能够有效防止镀膜材料喷溅,且省去坩埚降温的时间,提高了工作效率。(2)、该高分子等离子表面真空镀膜设备,通过腔体左侧的顶部固定连接有电机,并且电机输出轴的一端固定连接有双向螺纹杆,双向螺纹杆表面的两侧且位于腔体的内部均螺纹连接有活动块,两个活动块的底部均固定连接有限位板,电机工作能够调整两个限位板之间的距离,使限位板能够固定不同大小的基板,扩大了适用范围,适用性更强,提高了实用性。附图说明图1为本实用新型结构的立体图;图2为本实用新型结构的剖视图;图3为本实用新型图2中a处的局部放大图;图4为本实用新型宝来利真空密封盖结构的立体图;图5为本实用新型第二密封盖结构的立体图。图中:1腔体、2基板、3坩埚、4支撑腿、5密封门、6支撑板、7防护框、8宝来利真空滑轨、9活动板、10宝来利真空伸缩杆、11第二伸缩杆、12宝来利真空密封盖、13第二密封盖、14加热板、15降温板、16电机、17双向螺纹杆、18活动块、19限位板、20第二滑轨、21抽风机、22风管。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然。
所述u形架的下端通过轴承转动安装在后罐体的内部下侧,所述u形架的外侧固定安装有刮板,所述刮板的外侧与后罐体、前罐体的内表面紧密贴合,所述后罐体和前罐体的上表面外侧均匀开设有通孔,所述通孔从上至下向外倾斜,所述通孔的内部固定安装有喷头。推荐的,所述驱动装置包括半圆板,所述前罐体的前表面上侧开设有与半圆板匹配的半圆槽,所述半圆板的上表面开设有转轴通孔,所述半圆板的上表面固定安装有防护罩和减速电机,所述防护罩罩接在减速电机的外侧,所述减速电机的输出轴转动安装在转轴通孔的内部,所述减速电机输出轴的下端与u形架固定装配。推荐的,所述前罐体的下表面后侧安装有集料盒,所述集料盒包括出料口,所述出料口的下侧固定安装有外螺管,所述外螺管的外侧螺接有收集盒。推荐的,所述控制箱的内部左侧固定安装有清洗箱和泵,所述清洗箱固定安装在泵的右侧,所述泵通过软管与喷头固定装配。推荐的,所述控制箱、减速电机、泵通过导线电连接,且控制箱与外部电源连接。与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该磁控溅射真空镀膜机,能够通过清理装置与驱动装置的配合,对镀膜机腔体内壁粘黏的靶材和杂质进行自动刮除清理,不需人力手动擦拭。品质电子半导体真空镀膜机,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以来咨询考察!

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