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然后将基板2推入两个限位板10之间的限位槽内，并关闭密封门5，打开抽风机21，将腔体1内的空气抽出，通过控制面板使加热器工作通过加热板14加热坩埚3进行镀膜，镀膜完成后，使宝来利真空伸缩杆10工作，带动活动板9运动，使坩埚3运动至防护框7内，然后第二伸缩杆11工作，推动宝来利真空密封盖12和第二密封该13发生运动，使防护框7密封，然后即可打开密封门5将基板取出或换面继续覆膜。需要说明的是，在本文中，诸如宝来利真空和第二等之类的关系术语宝来利宝来利用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不宝来利包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。 宝来利医疗器械真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，细腻有光泽，有需要可以来咨询！1500真空镀膜设备厂家

以专门作为工艺反应的内反应腔20。宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12、第二底板21和第二侧壁22均可由金属材料组成，其中，第二底板21和第二侧壁22则优先选用热传导效果较好的金属材料组成，例如可选不锈钢或铝合金等材料。除上述结构形式外，外腔体10和内反应腔20还可以共用一个底板，真空镀膜设备用一圈隔离板对外腔体10进行分割即可。但为了将内反应腔20的空间尽可能地缩小到所需范围，且真空镀膜设备大限度地降低非必要的空间，该实施方式中设置了宝来利真空底板11和第二底板21相互分离的设置结构，以在垂直方向上缩小内反应腔20的空间。其中，宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12和密封盖板30三者相互密闭连接共同构成了与外部大气隔离的具有封闭结构的外腔体10。而内反应腔20则位于该外腔体10之内，但是第二侧壁22与密封盖板30之间并未形成封闭式接触，两者之间属于分离式设计结构。该结构也就使得外腔体10与内反应腔20之间在仍属于相互连通的结构构造，用该结构可以将真空设备中的部分构件分离，将工艺过程中非必要的机械结构部件设置于外腔体10中，而与工艺反应相关的结构部件设置于内反应腔20中。在工艺反应过程中，由于工艺反应区的压力要大于外腔体10中的压力。 上海护目镜真空镀膜设备规格宝来利门把手真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，细腻有光泽，有需要可以来咨询考察！

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进一步地，所述第二底板内和所述第二侧壁内均设有用于穿设温控管的通道，所述温控管埋设于所述通道内。一种真空镀膜设备，包括机械模块部件、工艺模块部件和本实用新型所述的真空反应腔室，所述工艺模块部件位于所述内反应腔内，部分所述机械模块部件位于所述外腔体内。本实用新型实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下***：本实用新型提供的真空反应腔室，包括用于提供真空环境的外腔体，以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔；并且，内反应腔的侧壁上设有自动门，工件自外腔体经自动门进入内反应腔中。其中，外腔室和内反应腔为嵌套结构，其内反应腔位于外腔室内。该结构中，相当于设置了两个腔室，其中外腔体用于提供真空环境，而工艺反应则在内反应腔中进行。由于采用双腔室结构，可以将工艺模块部件设置于内反应腔中，而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后，位于外腔体中的工件再经自动门进入内反应腔中进行工艺反应，可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域，避免工艺污染，提供工艺质量。由于设置双腔室，作为工艺反应区的内反应腔相对较小。 宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，合金膜层，有需要可以咨询！

所述u形架的下端通过轴承转动安装在后罐体的内部下侧，所述u形架的外侧固定安装有刮板，所述刮板的外侧与后罐体、前罐体的内表面紧密贴合，所述后罐体和前罐体的上表面外侧均匀开设有通孔，所述通孔从上至下向外倾斜，所述通孔的内部固定安装有喷头。推荐的，所述驱动装置包括半圆板，所述前罐体的前表面上侧开设有与半圆板匹配的半圆槽，所述半圆板的上表面开设有转轴通孔，所述半圆板的上表面固定安装有防护罩和减速电机，所述防护罩罩接在减速电机的外侧，所述减速电机的输出轴转动安装在转轴通孔的内部，所述减速电机输出轴的下端与u形架固定装配。推荐的，所述前罐体的下表面后侧安装有集料盒，所述集料盒包括出料口，所述出料口的下侧固定安装有外螺管，所述外螺管的外侧螺接有收集盒。推荐的，所述控制箱的内部左侧固定安装有清洗箱和泵，所述清洗箱固定安装在泵的右侧，所述泵通过软管与喷头固定装配。推荐的，所述控制箱、减速电机、泵通过导线电连接，且控制箱与外部电源连接。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该磁控溅射真空镀膜机，能够通过清理装置与驱动装置的配合，对镀膜机腔体内壁粘黏的靶材和杂质进行自动刮除清理，不需人力手动擦拭。 公司主营产品：离子真空镀膜设备，磁控溅射真空镀膜设备，高真空精密光学镀膜设备，中频热蒸发镀膜设备等。江苏防指纹真空镀膜设备工厂直销

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