浙江锅胆镀钛真空镀膜设备供应商

时间:2024年10月16日 来源:

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在进一步的实施例中,结合图1可得,沉降组件包括沉降管51、挤压管52、气缸53及水箱55;沉降管51安装在抽气管3上;挤压管52安装在沉降管51远离真空泵4的侧壁上、且挤压管52与沉降管51之间连通;水箱55安装在真空泵4与挤压管52中间、且水箱55与挤压管52之间连通;气缸53安装在挤压管52远离沉降管51一侧;挤压管52内设有活塞54;气缸53的伸缩轴穿过挤压管52并与活塞54连接;通过挤压活塞54,对挤压管52内的水挤压,使其喷出到沉降管51中,沉降粉尘。在进一步的实施例中,结合图1和图3可得,沉降管51远离挤压管52一侧设有出水口;出水口上设有塞盖511;挤压管52靠近沉降管51处设有第二过滤网521;当沉降管51内水过多时,打开塞盖511排出废水及粉尘,第二过滤网521用于防止粉尘进行挤压管52中污染水源。在进一步的实施例中,结合图2所示,顶盖22侧壁设有宝来利真空凸块221;第二连接套2内侧壁靠近顶盖22处设有宝来利真空凹槽21;宝来利真空凸块221嵌于宝来利真空凹槽21中;顶盖22远离镀膜机1一侧与宝来利真空凹槽21靠近抽气管3一侧通过弹簧连接;宝来利真空凸块221与宝来利真空凹槽21配合用于对顶盖22的移动方向进行限位,保证其准确的盖在出气管11口上。在进一步的实施例中。 浙江锅胆镀钛真空镀膜设备供应商真空镀膜设备选择丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以联系我!

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本实用新型涉及真空设备领域,尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术:目前,真空设备,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等离子体增强化学气相沉积)和pvd(physicalvaporde****ition,物宝来利相沉积)设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中,如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室,传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内,这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭,容易造成工艺环境污染。另外,设置单个反应腔室时,由于工艺反应区域较大,容易造成工艺所需原料的浪费,同时,还会造成工艺反应过程中温度波动大,不可控因素较多,从而影响工艺过程。技术实现要素:本实用新型的宝来利真空目的在于提供一种真空反应腔室,以解决现有真空设备中由于只设置一个反应腔室造成的工艺环境易被污染、工艺原料易被浪费、环境温度可控性低等问题。本实用新型的第二目的在于提供一种包含本实用新型真空反应腔室的真空镀膜设备。为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:一种真空反应腔室,包括:用于提供真空环境的外腔体。

所述双向螺纹杆远离电机的一端贯穿腔体并延伸至腔体的内部,所述双向螺纹杆位于腔体内部的一端与腔体内壁的右侧通过轴承转动连接。推荐的,所述双向螺纹杆表面的两侧且位于腔体的内部均螺纹连接有活动块,两个所述活动块的底部均固定连接有限位板,并且两个活动块的顶部均通过第二滑轨与腔体内壁的顶部滑动连接。推荐的,所述腔体左侧的底部固定连接有抽风机,并且抽风机进风口的一端连通有风管,所述风管远离抽风机的一端贯穿腔体并延伸至腔体的内部。有益效果本实用新型提供了一种高分子等离子表面真空镀膜设备。与现有技术相比具备以下有益效果:(1)、该高分子等离子表面真空镀膜设备,通过两个宝来利真空滑轨相对的一侧之间滑动连接有活动板,宝来利真空伸缩杆输出轴的一端且位于防护框的内部与活动板的底部固定连接,防护框顶部的两侧分别滑动连接有宝来利真空密封盖和第二密封盖,并且宝来利真空密封盖和第二密封盖相背离的一侧分别与两个第二伸缩杆的输出轴固定连接,坩埚放置在加热板上,通过宝来利真空伸缩杆工作可以使坩埚运动至防护框内,两个第二伸缩杆工作能够控制密封盖将防护框密封,当镀膜工作完成后,可以将坩埚密封在防护框内。 宝来利3D镜头真空镀膜设备性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询!

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本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体为一种磁控溅射真空镀膜机。背景技术:真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中,溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且**终沉积在基片表面,经历成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长),**终形成薄膜。目前市场上类似的磁控溅射真空镀膜机在长时间使用后,会在镀膜机腔体的内壁粘黏有靶材和杂质,通常需要装卸内部的转动架,用人工的方式对腔体内壁进行定时维护,手动清理擦拭,费时费力,清理效率低,为了解决上述问题,我们提出一种磁控溅射真空镀膜机。技术实现要素:本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射真空镀膜机,以解决上述背景技术中提出的问题。为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种磁控溅射真空镀膜机,包括控制箱,所述控制箱的上表面后侧固定安装后罐体,所述后罐体的前表面铰接有前罐体,所述后罐体的前表面上侧固定安装有驱动装置,所述驱动装置,所述驱动装置的下侧安装有清理装置,所述清理装置包括u形架。 宝来利真空镀膜设备性能稳定,膜层均匀耐磨,汽车轮毂镀膜,有需要可以来咨询考察!1500真空镀膜设备供应

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泵6通过软管与喷头42固定装配。泵6能够将清洗箱8中的清洗液通过软管、喷头42均匀喷洒到后罐体3和前罐体2的内壁上。控制箱1、减速电机54、泵6通过导线电连接,且控制箱1与外部电源连接。通过控制箱1控制减速电机54、泵6的工作状态。工作原理:需要对后罐体3、前罐体2的内表面进行清理时,通过控制箱1控制泵6,将清洗箱8中的清洗液通过软管、倾斜的喷头42均匀喷洒到后罐体3和前罐体2的内壁上;同时驱动装置5中减速电机54能够带动u形架44、刮板43在后罐体3和前罐体2的内部转动,将清洗液及内壁上的物质剐蹭下来,并通过集料盒7中出料口71、外螺管72、收集盒73的配合,方便收集、清理,完成后泵6、减速电机54停止工作。对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外,应当理解。 浙江锅胆镀钛真空镀膜设备供应商

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