浙江五金配件真空镀膜机供应

时间:2024年09月06日 来源:

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还可以根据这些附图获得其他附图:图1为本实施例中一种真空镀膜设备的主视示意图;图2为本实施例中图1中a处的放大示意图;图3为本实施例中图1中b处的放大示意图;图4为本实施例中顶盖的结构示意图。具体实施方式为了使本实用新型实施例的目的、技术方案和***更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本实用新型的部分实施例,而不是全部实施例。基于本实用新型的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型的保护范围。本实用新型较佳实施例的如图1和图2所示,构造一种真空镀膜设备,包括镀膜机1;镀膜机1底部设有出气管11;出气管11上设有宝来利真空连接套12;宝来利真空连接套12上设有第二连接套2;第二连接套2中设有顶盖22,顶盖22与宝来利真空连接套12之间通过磁吸连接;第二连接套2远离镀膜机1一侧设有抽气管3;抽气管3远离第二连接套2一侧设有真空泵4;抽气管3内靠近真空泵4一侧设有宝来利真空过滤网41;抽气管3远离镀膜机1一侧设有沉降组件;在抽真空时,按下开关13,启动真空泵4,电磁铁122通电产生与磁片223相同的磁性,利用磁铁的原理。浙江风镜真空镀膜机厂商宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,七彩氧化钛,有需要可以咨询!

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真空镀膜设备在操作过程中,膜层不均匀的可能原因主要包括靶材与基片的距离不当、磁场设计不均匀以及乙炔引入不均匀等。具体内容如下:距离问题:靶材与待镀基片之间的距离若未优化,会影响溅射的均匀性。磁场设计问题:磁控溅射的均匀性在很大程度上依赖于磁场的设计,如果磁场分布和强度不均,则会导致膜层均匀度不佳。气体引入问题:如乙炔在反应溅射过程中引入不均,也会导致沉积膜层的质量在基片上存在差异。为了解决这些问题,可以考虑以下方案:调整靶材与基片间的距离:确保两者间距离适宜,以便改善溅射的均匀性。优化磁场设计:通过改善和优化磁场的分布及强度,提高靶材表面离子轰击的均匀性,进而提升膜层均匀度。旋转基片或靶材:在溅射过程中,改变它们的相对位置和角度,使得材料能够更均匀地分布在基片上。

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种高分子等离子表面真空镀膜设备。背景技术:真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法,例如,真空镀铝、真空镀铬等,真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺,简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。现有的真空镀膜设备虽然能够完成镀膜的工作,但是当镀膜公祖完成后,由于腔体内部仍然处于真空状态,与外界环境具有一定的压强差,若过早打开密封门,坩埚温度依然很高,镀膜材料容易发生喷溅,造成危险,若等坩埚降温后再打开密封门,会耗费较多的时间,影响工作效率。技术实现要素:针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种高分子等离子表面真空镀膜设备,解决了若过早打开密封门,镀膜材料容易发生喷溅,造成危险,若等坩埚降温后再打开密封门,会耗费较多的时间。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,DLC涂层,有需要可以咨询!

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因此,即使外腔体10与内反应腔20在气路上相互连通,但外腔体10中的污染物也很难进入到内反应腔20中,从而可以保证内反应腔20始终保持清洁的工艺环境。由此,外腔体10与所述内反应腔20可共用一套抽真空系统。由于外腔体10与内反应腔20之间应属于相互连通的气路环境,因此,当对外腔体10进行抽真空处理时,内反应腔20也同时进行抽真空处理。本实施方式中,自动门设置于所述第二侧壁22上,所述外腔体10内设有传送装置13,所述工件自所述传送装置13经所述自动门23传递至所述内反应腔20中。自动门控制器控制自动门的启闭。抽真空完成后,自动门控制器检测传送装置上是否有工件存在,经检测若有工件存在,则控制自动门打开,工件在传送装置的作用下进入内反应腔中;然后自动门控制器再控制自动门关闭。可以理解的是,传送装置包括转动轴和套设在转动轴上的传送带,以及驱动转动轴旋转的驱动机构,例如电机。其中,传送带的设置高度与内反应腔中的工件反应载台相对应。继续参照图2,为了保证作为工艺区域的内反应腔20的环境温度恒温可控,第二底板21和/或所述第二侧壁22上设有用于对所述内反应腔20进行控温的温控装置,以使内反应腔20内的温度始终处于所需的工艺温度范围内。品质真空镀膜机,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以电话联系我!上海800真空镀膜机推荐厂家

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所描述的实施例宝来利宝来利是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1-5,本实用新型提供一种技术方案:一种高分子等离子表面真空镀膜设备,包括腔体1、基板2和坩埚3,腔体1内壁底部的两侧分别固定连接有加热器和冷凝器,坩埚3放置在加热板14的顶部,腔体1左侧的底部固定连接有抽风机21,并且抽风机21进风口的一端连通有风管22,风管22远离抽风机21的一端贯穿腔体1并延伸至腔体1的内部,腔体1左侧的顶部固定连接有电机16,电机16通过导线与控制开关及外部电源连接,并且电机16输出轴的一端固定连接有双向螺纹杆17,双向螺纹杆17表面的两侧且位于腔体1的内部均螺纹连接有活动块18,两个活动块18的底部均固定连接有限位板19,两个限位板19相对的一侧均开设有与基板2相适配的限位槽,并且两个活动块18的顶部均通过第二滑轨20与腔体1内壁的顶部滑动连接,双向螺纹杆17远离电机16的一端贯穿腔体1并延伸至腔体1的内部,双向螺纹杆17位于腔体1内部的一端与腔体1内壁的右侧通过轴承转动连接,腔体1底部的四角均固定连接有支撑腿4。浙江五金配件真空镀膜机供应

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