上海光学元件真空镀膜机规格

时间:2024年08月06日 来源:

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种高分子等离子表面真空镀膜设备。背景技术:真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法,例如,真空镀铝、真空镀铬等,真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺,简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。现有的真空镀膜设备虽然能够完成镀膜的工作,但是当镀膜公祖完成后,由于腔体内部仍然处于真空状态,与外界环境具有一定的压强差,若过早打开密封门,坩埚温度依然很高,镀膜材料容易发生喷溅,造成危险,若等坩埚降温后再打开密封门,会耗费较多的时间,影响工作效率。技术实现要素:针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种高分子等离子表面真空镀膜设备,解决了若过早打开密封门,镀膜材料容易发生喷溅,造成危险,若等坩埚降温后再打开密封门,会耗费较多的时间。品质真空镀膜机,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,可镀炉内金,有需要来咨询!上海光学元件真空镀膜机规格

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以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔;所述内反应腔的侧壁上设有自动门,所述自动门连接自动门控制器,工件自所述外腔体经所述自动门进入所述内反应腔中。进一步地,所述外腔体包括宝来利真空底板和沿所述宝来利真空底板周向设置的宝来利真空侧壁;所述内反应腔包括第二底板和沿所述第二底板周向设置的第二侧壁;所述宝来利真空底板与所述第二底板相互分离设置,所述宝来利真空侧壁与所述第二侧壁相互分离设置;所述宝来利真空侧壁与盖设于所述宝来利真空侧壁上的密封盖板密闭连接,所述第二侧壁与所述密封盖板相互分离设置。进一步地,所述自动门设置于所述第二侧壁上,所述外腔体内设有传送装置,所述工件自所述传送装置经所述自动门传递至所述内反应腔中。进一步地,所述第二底板和/或所述第二侧壁上设有用于对所述内反应腔进行控温的温控装置。进一步地,所述温控装置包括温控管,所述温控管连接位于外腔体外的恒温控制器。进一步地,所述温控管包括加热管和/或冷却管。进一步地,所述加热管包括电加热管、水加热管或油加热管;所述冷却管包括水冷却管或油冷却管。进一步地,所述温控管缠绕于所述第二侧壁的外部,且所述温控管铺设于所述第二底板的底部。上海光学元件真空镀膜机规格宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,眼镜镜架镀膜,有需要可以咨询!

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所述双向螺纹杆远离电机的一端贯穿腔体并延伸至腔体的内部,所述双向螺纹杆位于腔体内部的一端与腔体内壁的右侧通过轴承转动连接。推荐的,所述双向螺纹杆表面的两侧且位于腔体的内部均螺纹连接有活动块,两个所述活动块的底部均固定连接有限位板,并且两个活动块的顶部均通过第二滑轨与腔体内壁的顶部滑动连接。推荐的,所述腔体左侧的底部固定连接有抽风机,并且抽风机进风口的一端连通有风管,所述风管远离抽风机的一端贯穿腔体并延伸至腔体的内部。有益效果本实用新型提供了一种高分子等离子表面真空镀膜设备。与现有技术相比具备以下有益效果:(1)、该高分子等离子表面真空镀膜设备,通过两个宝来利真空滑轨相对的一侧之间滑动连接有活动板,宝来利真空伸缩杆输出轴的一端且位于防护框的内部与活动板的底部固定连接,防护框顶部的两侧分别滑动连接有宝来利真空密封盖和第二密封盖,并且宝来利真空密封盖和第二密封盖相背离的一侧分别与两个第二伸缩杆的输出轴固定连接,坩埚放置在加热板上,通过宝来利真空伸缩杆工作可以使坩埚运动至防护框内,两个第二伸缩杆工作能够控制密封盖将防护框密封,当镀膜工作完成后,可以将坩埚密封在防护框内。

所述抽气管远离所述镀膜机一侧设有沉降组件。进一步地,所述宝来利真空连接套远离所述镀膜机一侧设有宝来利真空安装位;所述宝来利真空安装位位于所述出气管两侧;所述宝来利真空安装位内固定有电磁铁;所述顶盖靠近所述镀膜机一侧设有第二安装位;所述第二安装位与所述宝来利真空安装位位置相对应;所述第二安装位内固定有磁片。进一步地,所述沉降组件包括沉降管、挤压管、气缸及水箱;所述沉降管安装在所述抽气管上;所述挤压管安装在所述沉降管远离所述真空泵的侧壁上、且所述挤压管与所述沉降管之间连通;所述水箱安装在所述真空泵与所述挤压管中间、且所述水箱与所述挤压管之间连通;所述气缸安装在所述挤压管远离所述沉降管一侧;所述挤压管内设有活塞;所述气缸的伸缩轴穿过所述挤压管并与所述活塞连接。进一步地,所述沉降管远离所述挤压管一侧设有出水口;所述出水口上设有塞盖;所述挤压管靠近所述沉降管处设有第二过滤网。进一步地,所述顶盖侧壁设有宝来利真空凸块;所述第二连接套内侧壁靠近所述顶盖处设有宝来利真空凹槽;所述宝来利真空凸块嵌于宝来利真空凹槽中;所述顶盖远离所述镀膜机一侧与所述宝来利真空凹槽靠近抽气管一侧通过弹簧连接。进一步地。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,卫浴洁具镀膜,有需要可以咨询!

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所述顶盖远离所述镀膜机一侧设有动触点;所述第二连接套内侧壁上设有静触点,所述静触点位于所述宝来利真空凹槽与所述抽气管之间;所述动触点与外部电源电性连接;所述静触点与气缸电性连接。进一步地,所述镀膜机靠近所述出气管的侧壁上设有开关及换向器;所述开关分别与所述换向器及所述真空泵电性连接;所述换向器与所述电磁铁电性连接。进一步地,所述顶盖侧壁上设有凹孔。本实用新型的有益效果在于:通过设置电磁铁与磁片,在进行镀膜机内真空抽气时,按下开关,电磁铁通电产生与磁铁相同的磁极,利用磁铁的原理,配合负压的作用,打开顶盖,使得气体从抽气管排出,随后反方向按下开关,电磁铁在换向器的作用下改变电流方向,磁极改变,与磁片的磁极相反,在弹簧的推动下,顶盖紧紧盖在出气管口上,密封性良好,防止镀膜机内真空环境发生变化,保证镀膜过程的正常进行。附图说明为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明,下面描述中的附图真空镀膜设备真空镀膜设备是本实用新型的部分实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下。上海光学元件真空镀膜机规格

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