北京在线标准分子涡轮泵
这是一个假想的隘口,由于设计成这样的构造,显然,人从两个方向通过的难易程度是不一样的,如果人平均出现在入口的任一位置,那么从左向右,比从右向左容易通过,比例大约是5:1,这也是一种陷阱。对于图2的模型,可以引入一个物理量——传输几率,它可以这样来理解,以均等机会(概率相等)出现在入口任一位置的人通过隘口的可能性(概率)。显然对于图2,从左向右的传输几率为1,即都能通过,而从右向左的传输几率约1/5,即平均5人有1人可以通过。因此,如果起始时,隘口两边的人数相等,随后,便慢慢地在右边逐渐增多。传输几率在气体分子的运动中是一个非常重要的概念,比如气体分子通过一个长圆形管道,其难易程度可用该管道的传输几率来表征。当管道的长径比(l/r)一定时,传输几率是确定的,并且通常两个方向的传输几率也相同。分子泵的振动主要是其振动零部件的不平衡引起的。北京在线标准分子涡轮泵
显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪,分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上的。(5)高压力下性能良好有些涡轮分子泵的入口压力可在10-1~10-3Torr(即Pa~mPa)之间运行。在这个压力范围内,离子泵不能应用,对于低温泵需要节流抽速或经常再生,对扩散泵的工作也会变得不稳定。(6)循环的时间短多数涡轮分子泵,尤其小一些的,要达到正常的运行速度的时间,一般需要1~3min。对于不同品种和型号的泵有所不同。并且能立即关闭,并可暴露大气。这种快速循环特性在样品输入系统中很有用,尤其对手提式氦检漏仪有用。(7)正常使用时间长在某些应用中,涡轮分子泵的正常使用时间要比其它泵优越。因为在重气体负荷和阀门漏气的情况下,会引起低温泵经常不定时的再生或离子泵经常修复,而涡轮分子泵使用还能消除因泵油对真空室的污染。2、缺点任何真空泵都有不足之处,涡轮分子泵也不例外。下面介绍它存在的一些缺点。(1)设备费用高在抽速大于1000L/s的涡轮分子泵要比扩散泵和低温泵的设备投资大。然而涡轮分子泵在由于工艺气体或其它原因而不能使用扩散泵和低温泵的特殊场合下它是很好用的。若与小型或中型扩散泵相比,小涡轮分子泵是相当贵的。广西标准分子涡轮泵量大从优关于涡轮分子泵的安全使用问题,曾引起过涡轮分子泵的设计者和操作者的重视和研究。
DSMC法是随机过程描述分子碰撞的,这就要求被模拟的气体分子呈杂乱无章的状态,而且分子间的距离较大,通常克努曾数介于0.1和10之间。从均匀稳定流态开始,模拟过程中的时间参数可通过真实流动的物理时间来认定。将物理空间划分若干个单元网格,以便选择相互碰撞的分子对和对宏观流动进行抽样。为了减少计算机的处理量,可以利用模拟场的对称性建立网格单元的大小和尺寸以及个数和存储每个分子所需位置坐标个数。通常空间网格是按3D来处理的。
gb7774-87),并在涡轮分子泵中使用了磁悬浮轴承。中国制定了立式涡轮分子泵行业标准(JB/T9125-95)和涡轮分子泵性能侧面试验方法国家标准(gb7774-87),并在涡轮分子泵中使用了磁悬浮轴承。广东振华真空设备发现近十年来,由于轴承,高速旋转和数控加工技术的不断发展,世界涡轮分子泵的发展取得了长足的进步。抽速已从50L/s发展到25000l/S(日本)甚至40000L/S(俄罗斯)。在各种真空泵中,分子泵是一种结构精确,技术要求高的泵。泵的动叶片和静叶片的几何形状与抽速有很大关系。需要特殊处理以确保刀片的尺寸和准确性。同时,要求转子具有良好的动平衡,动叶片应具有较高的强度以承受高速旋转产生的离心力,以保证泵的可靠运行。分子泵由泵体内的中频电机直接驱动,涡轮转子为一体式结构。该泵对大分子气体具有较高的压缩比,中频电机置于前级空间,可获得高真空和超高真空进行清洁。其性能特点是:结构紧凑,工作压力范围宽,抽速稳定在10-1pa-10-7pa范围内。它运行稳定。由于采用了精密轴承,严格的动平衡过程和一系列减振措施,该泵振动小,噪音小,启动时间短,一般可在4min-15min内达到全抽速。标准化的法兰连接尺寸和垂直结构使其易于与真空系统连接。涡轮分子泵设计时要考虑的另一个技术问题是涡轮分子泵在外界强磁场作用下,泵运转的可靠性问题。
且遗留下来的细微不平衡随着时间的推移会造成轴承故障,并会导致转子受损。保持涡轮分子泵平衡性可以确保低振动运转和**佳的轴承耐用性。在正常启动过程中,根据转子动力学,他们通过某种特定的共振频率。如果这些共振频率够刺激真空室、框架或整个系统的固有频率,他们就可以促进频率振幅的***提升;在这种频率下,泵开始剧烈振动并发出非常大的声音。频繁在这些共振频率区域运行会导致转子受损,且可能会导致设备或内置振动敏感元件损坏。即便是带有磁轴承的涡轮分子泵也不例外。因此,**好确定系统的固有频率,并就相关数值向制造商进行咨询。通过加固、增加额外重量或变换设计方案等可以避免振动的发生。4、安全连接高真空法兰/真空室涡轮分子泵,尤其是抽速在1000l/s以上、带有磁轴承和钟形转子的较大涡轮分子泵,在额定转速下具有较高的扭矩,在转子碰撞时,速度会以毫秒为单位降级。如果真空室布局不当且涡轮分子泵直接安装在其上时,则会发生真空室变形的情况,情况**严重时还会造成涡轮分子泵扭曲,甚至会与真空室法兰脱离。近年来,主要受到半导体工业的驱动,泵制造商已经通过碰撞实验和控制分析对泵壳和入口法兰上的力矩和受力进行了确定和测试。实验发现。在转子设计时,要进行回转体整体的应力分析。湖南测量标准分子涡轮泵
涡轮分子泵的故障是由于机械真空泵的轴承系统,驱动系统以及外因等出现问题时而引起的。北京在线标准分子涡轮泵
涡轮分子真空泵涡轮分子真空泵是指有一高速旋转的叶轮,当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。他的优点:(1)清洁,无油蒸汽返流涡轮分子真空泵可不用任何阱,按操作规程工作,就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境,且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了,对于小泵多用油脂润滑,也有用空气轴承的,但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现,使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流,使它真正成为一种清洁的干式高真空泵。(2)使用方便在许多应用中,涡轮分子真空泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮,泵便能开始工作。从大气压力可降至极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽,可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小,而且涡轮分子泵的安装方向不受限制,可在任意方向安装(用油润滑的泵除外,它只能在垂直±5°范围内工作)。这个特点,可用于安装位置受限制的地方。(3)气体输送能力强大多数涡轮分子真空泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。北京在线标准分子涡轮泵