上海PBI晶圆吸盘制造

PBI涂层设备：涂层是在 Brewer Science, Inc. CB-100 旋涂机上生产的，而喷涂和封装则使用 Daetec 设计的定制工具。计量数据由 XP-1 触针轮廓仪、AFP-200 原子力轮廓仪和 Xi-100 光学轮廓仪生成。在适用的情况下，设备设置包括 5 毫克触笔负载、较小 4 毫米距离和 0.5 毫米/秒的速度。对于清洁测试，使用点和环触点的 Hg 探针（型号 802B-150）、HP 4140B 皮安表源，由 MDC 测量系统支持，具有 I-V 绘图程序 @ 10 mv 步长从 0-1V [11]。生成典型的 I-V 图来比较趋势并研究保护膜的击穿电压。用于材料表征的分析设备包括 SEM (Hitachi 4700)、能量色散 X 射线光谱 (EDS)、带 ATR 的 FTIR（Spectrum 100、DGTS 检测器、ZnSe 涂层附件、Perkin-Elmer）。改良的脱气热重测试方法是通过典型的实验室规模（+/- 0.1mg）进行的。UV 固化设备包括 Intelli-Ray 400 微处理器控制的光固化系统。在轨道交通车辆中，PBI 塑料用于制造内饰和关键部件，提升车辆性能。上海PBI晶圆吸盘制造

PBI化学结构：PBI塑料：PBI塑料的分子由聚苯并咪唑单元聚合而成，具有独特的分子结构，这赋予了它优异的耐热性、耐磨性和耐化学腐蚀性。聚四氟乙烯：PTFE是由四氟乙烯单体聚合而成的聚合物，其分子结构中所有氢原子都被氟原子取代，形成高度稳定的C-F键，这种结构使得PTFE具有突出的化学稳定性和物理性能。PBI硬度为玻璃的二分之一。高纯度灰分可控制在2ppm以下。适用于半导体行业、特种玻璃行业，对塑料制品性能要求较高地方使用。因其优越的性能，在其他塑料无法实现的领域，PBI都可能找到较佳解决方案。浙江PBI耐磨条现货直发PBI塑料被国际消防员协会认可为高耐热材料。

PBI复合材料的机械性能：层压板制备使用图 3 中概述的固化条件，从每个预浸料制备八层层压板。铺层和装袋程序按照 Hoechst Celanese 的建议进行（图 4），但取消了放置在 Celgard 4510（聚丙烯微孔脂肪片膜）袋外面的穿孔铝箔，以尽量减少流量。我们观察到 Celgard 4510 足以将树脂溶液保持在膜分解温度以下（约 260℃），并且高于该温度时，过多的流量不是主要问题。研究了从较大 5.1 MPa（740 psi）到较小 0.69 MPa（100 psi）的压力。使用加热压机模拟高压釜环境。

在 m-PBI 基质中加入无机填料是克服过选择性权衡的一种简单但非常有益的方法。然而，目前较先进的 PBI MMM 主要是基于 ZIF 的填料，因为它们与 PBI 的咪唑官能团有很好的联系。必须更加关注新型填料的确定和功能化，如具有出色 H2/CO2 分离特性的共价有机框架，以提高它们与 PBI 的兼容性，从而提高其分离性能。强度损失：较后，吸水性会影响强度。在极端情况下，当水/蒸汽完全饱和时，PBI 的强度损失可达 45%。表 3 和表 4 说明了这一点。相反，如果部件吸水饱和，然后进行干燥，其强度、模量、伸长率和硬度将恢复到原始值。PBI 塑料可制成薄膜，用于电子显示、光学等领域，发挥其独特性能。

1983年：塞拉尼斯公司在美国南卡罗来纳州罗克山的PBI聚合和纤维工厂投产。1989年：塞拉尼斯公司获得了头一项关于压模 Celazole® PBI 产品（U 系列）的专业技术，随后在 1991 年又获得了头一项关于 PBI-聚芳醚酮混合物（T 系列）的专业技术。1994年：纽约市消防局指定使用 PBI 作为他们的防护装备，为市政消防局的个人防护设备设定了标准。到 1996 年，该产品已销往全球。如今，该公司的纤维已被全球公认为市场上性能较高、尺寸较稳定的阻燃纤维。1996：推出高纯度 Celazole® PBI 部件，并将其商业化，用于半导体和平板显示器的化学气相沉积、物理的气相沉积、蚀刻和相关制造工艺。PBI塑料可用于汽车制造中的高温部件。浙江PBI耐磨条现货直发

PBI 塑料的高韧性使其在受到冲击时不易破裂，适用于制造防护产品。上海PBI晶圆吸盘制造

微裂纹可能是由于这种改性 PBl 的抗拉强度和断裂韧性较低造成的，8000g mol^(-1)“活性”PBI 表现出的流量略低，导致层压板的空隙率较高，但仍几乎是 20000g mol^(-1) PBI 层压板的一半。8000g mol^(-1)“活性”PBl 层压板在低至 2.07 MPa 的压力下成功加工，其机械性能与对照品相当。此外，这种 PBl 聚合物在高温下具有优异的性能。这可以通过将 PBI 视为传统热固性聚合物来解释，其机械性能（和 Tg）较少依赖于初始分子量，而更多地依赖于交联密度，虽然确切的交联机制尚不完全清楚，但流变数据表明 PBl 端基起着至关重要的作用。对固化和“未固化”层压板的动态机械热分析（Polymer LaboratoriesDMTA）证实了这一结论。上海PBI晶圆吸盘制造