福建**真空镀膜机生产厂家
真空镀膜设备在使用的过程中,它是会出现褐色条纹的情况,那么这种情况应该如何避免呢?下面真空镀膜设备厂家分析出现褐色条纹的原因。
①真空度低 解决方法:清洗真空室内的送铝、蒸镀设备、冷却体系、放卷、卷取设备及导辊;查看抽真空体系;下降环境湿度。
②薄膜释放气体。解决方法:薄膜预枯燥;延伸抽真空时刻。
③喷铝过多。解决方法:进步车速;下降蒸腾舟电流;下降送铝速度。
④蒸腾舟内有杂质。解决方法:清洗蒸腾舟及热屏蔽板。
⑤蒸腾舟老化。解决方法:替换蒸腾舟。 联系无锡光润,给您带来真空镀膜机实惠价格!福建**真空镀膜机生产厂家
阳极层离子源
若是镀工具耐磨层,一般厚度较大而对膜厚均匀性要求不高,可采用离子电流较大能级也较高的离子源,如霍尔离子源或阳极层离子源。阳极层离子源,与霍尔离子源原理近似。在一条环形(长方形或圆形)窄缝中施加强磁场,在阳极作用下使工作气体离子化并在射向工件。阳极层离子源可以做得很大很长,特别适合镀大工件,如建筑玻璃。阳极层离子源离子电流也较大。但其离子流较发散,且能级分布太宽。一般适用于大型工件,玻璃,磨损,装饰工件。但应用于光学镀膜并不太多。
考夫曼离子源
考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体,让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强,离子能量带宽集中,可较广应用于真空镀膜中。缺点是阴极(往往是钨丝)在反应气体中很快就烧掉了,另外就是离子流量有极限,对需要大离子流量的用户可能不适和。
福建**真空镀膜机生产厂家真空镀膜机详细镀膜方法。
光学镀膜在我们存在于我们的生活当中,从精密光学设备、显示设备到日常生活中的光学薄膜应用;还有普通眼镜,数码相机,各种家用电器,或者钞票上的防伪技术,都是光学镀膜加工技术应用上面的延伸。如果没有光学镀膜加工技术作为发展的基础,现代光电、通信或激光技术就不会取得进展,这也说明了研究和开发光学薄膜技术的重要性。光学镀膜加工是指在光学元件或者是**基底上涂覆或镀覆一层或者多层介电膜或者金属膜或者其组合,以改变光波的传输特性,包括光的传输、反射、吸收、散射、偏振和相变。因此,通过适当的设计,可以调制不同波段器件表面的透射率和反射率,不同偏振面的光可以具有不同的特性。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。真空镀膜机镀铝表面出现有点状痕迹及流痕印迹分析?
1、氧化层表面有点状痕迹
(1)预熔时电流过高或未加挡板。应适当降低预熔电流及加设挡板。
(2)蒸发电流过高。应适当降低。
2、氧化层表面有流痕印迹
(1)镀件表面清洁不良。应加强清洁处理。
(2)擦拭镀件时蘸用乙醇过多。应减少乙醇的蘸用量。
(3)手指接触镀件表面后留下指印。应禁止手指接触镀件表面。
(4)唾液喷溅到镀件表面,使镀层表面产生圈状印迹。操作者应带上口罩。
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霍尔离子源
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。
霍尔离子源的特点是:
1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例,可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口,收离子束冲击很快会销蚀,尤其对反应气体,一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。
为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的,如一个小的空心阴极源。
霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的Mark I 和 Mark II 离子源。适用的如国产的大部分离子源。
如果镀耐磨装饰膜,膜厚大,需要与机体结合力强,而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大,且离子能级也高。如果是镀光学膜,则主要要求离子电流能级集中,离子电流均匀性好。故建议用Kaufman或RF离子源,有条件的可采用ECR(电子回旋)或ICP(感应耦合)离子源。另外,也要考虑到耗材,如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而离子源如ICP离子源可在反应气体中连续工作几百小时。 浙江真空镀膜机厂家,哪家好?江西专业真空镀膜机直销
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工艺
2.1真空蒸膜vacuumevaporationcoating:使镀膜材料蒸发的真空镀膜过程。
2.1.1同时蒸发simultaneousevaporation:用数个蒸发器把各种蒸发材料同时蒸镀到基片上的真空蒸发。
2.1.2蒸发场蒸发evaporationfieldevaporation:由蒸发场同时蒸发的材料到基片上进行蒸镀的真空蒸发(此工艺应用于大面积蒸发以获得到理想的膜厚分布)。
2.1.3反应性真空蒸发reactivevacuumevaporation:通过与气体反应获得理想化学成分的膜层材料的真空蒸发。
2.1.4蒸发器中的反应性真空蒸发reactivevacuumevaporationinevaporator:与蒸发器中各种蒸发材料反应,而获得理想化学成分膜层材料的真空蒸发。
2.1.5直接加热的蒸发directheatingevaporation:蒸发材料蒸发所必须的热量是对蒸发材料(在坩埚中或不用坩埚)本身加热的蒸发。
2.1.6感应加热蒸发inducedheatingevaporation:蒸发材料通过感应涡流加热的蒸发。
2.1.7电子束蒸发electronbeamevaporation:通过电子轰击使蒸发材料加热的蒸发。 福建**真空镀膜机生产厂家
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