湖南现货真空镀膜机厂家
真空镀膜设备的相关特性是什么呢?真空镀膜设备可以为社会提供什么帮助呢?真空镀膜设备对于环境的保护可以起到什么作用呢?
1.真空镀膜设备沉积材料:可沉积铝、钛、锆等湿法电镀无法沉积的低电位金属,通以反应气体和合金靶材更是可以沉积从合金到陶瓷甚至是金刚石的涂层,而且可以根据需要设计涂层体系.
2.真空镀膜设备节约金属材料:由于真空涂层的附着力、致密度、硬度、耐腐蚀性能等相当优良,沉积的镀层可以远远小于常规湿法电镀镀层,达到节约的目的.
3.真空镀膜设备无环境污染:由于所有镀层材料都是在真空环境下通过等离子体沉积在工件表面,没有溶液污染,所以对环境的危害相当小. 真空镀膜机价廉物美,当然选无锡光润!湖南现货真空镀膜机厂家
不同领域对于真空镀膜设备的需求都是不同的,所以真空镀膜设备厂家需要着重观察市场,这对于真空镀膜设备的发展是有着很大的帮助的。
1.冶炼及冶金行业 我国炉外脱气精炼今后要增加50%以上(根据不同品种)。真空脱气机组的需求约为10~15亿<BR>元/年。其次是真空冶金炉,如真空感应炉、真空电弧炉和真空电阻炉等冶炼合金钢的基本设备。
2.真空热处理行业 我国真空热处理行业提出2010年基本完成以少氧化热处理为中心的技术改造,预计至少需要5000~8000 台先进设备。
3.电工行业今后我国电机制造业的目标是上品种、上档次、降低能耗和物耗,扩大出口。
4.电子信息行业预测2010年我国将成为世界上第二大半导体集成电路市场。总需求量为1000多亿块,达到1000亿以上的总金额。
5.食品工业 用于食品工业中的主要真空设备有真空冷冻干燥机、真空的包装机、真空封罐机、真空浸渍和真空保鲜装置等。食品保鲜与加工设备,拥有巨大的市场潜力。 上海新款真空镀膜机价格真空镀膜机采购,推荐无锡光润!
霍尔离子源
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。
霍尔离子源的特点是:
1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例,可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口,收离子束冲击很快会销蚀,尤其对反应气体,一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。
为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的,如一个小的空心阴极源。
霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的Mark I 和 Mark II 离子源。适用的如国产的大部分离子源。
如果镀耐磨装饰膜,膜厚大,需要与机体结合力强,而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大,且离子能级也高。如果是镀光学膜,则主要要求离子电流能级集中,离子电流均匀性好。故建议用Kaufman或RF离子源,有条件的可采用ECR(电子回旋)或ICP(感应耦合)离子源。另外,也要考虑到耗材,如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而离子源如ICP离子源可在反应气体中连续工作几百小时。
术语
1.1真空镀膜vacuumcoating:在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。
1.2基片substrate:膜层承受体。
1.3试验基片testingsubstrate:在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和(或)试验的基片。
1.4镀膜材料coatingmaterial:用来制取膜层的原材料。
1.5蒸发材料evaporationmaterial:在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。
1.6溅射材料sputteringmaterial:有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。
1.7膜层材料(膜层材质)filmmaterial:组成膜层的材料。
1.8蒸发速率evaporationrate:在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,除以该时间间隔
1.9溅射速率sputteringrate:在给定时间间隔内,溅射出来的材料量,除以该时间间隔。
1.10沉积速率depositionrate:在给定时间间隔内,沉积在基片上的材料量,除以该时间间隔和基片表面积。
1.11镀膜角度coatingangle:入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。 无锡光润专业真空镀膜机制造厂商。
真空镀膜是真空气相沉积的简称,是在真空条件下,将金属或非金属作为源材料转化成原子、离子或等离子体(气相),并在工件表面沉积具有某种特殊功能薄膜的技术。
真空镀膜可使工件表面具有耐磨损、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多超越其本身的优越性能,达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得技术经济效益的作用。
因此真空镀膜技术被誉为较具发展前途的重要技术之一,并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。这种新兴的真空镀膜技术可在国民经济各个领域得到应用,如航空航天、汽车、新能源、电子、信息、医疗、石油化工、稀土产业等领域,其应用领域正在给传统的表面处理手段带来强大的冲击。 真空镀膜机价格是多少?浙江专用真空镀膜机厂家
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磁控镀膜机可以在较低的工作压力和电压下放电,目标利用率相对较高。然而,因为电子沿着磁力线运动,并且主要封闭在目标表面上,所以衬底区域较少受到离子的轰击。不平衡磁控溅射技术的概念,故而言之就是磁控阴极的外磁极的磁通量比内磁极的磁通量大,也就是说两个磁极的磁力线在靶面上不会完全闭合,有一定比例的磁力线会沿着靶的边缘部分延伸到基片区域,这样子就可以让部分电子沿着磁力线延伸到基片,从而使基片区域的等离子体密度和气体电离率增加。不考虑不平衡平衡,如果磁体静止,其磁场特性决定了一般目标利用率不到30%。旋转磁场可以用来提高靶材的利用率。如果旋转磁场需要旋转机构,那么溅射速率就要降低。旋转磁场大多用于大型或有价值的目标。例如半导体薄膜的溅射。对于小型设备和一般工业设备,磁场静靶源应用广。湖南现货真空镀膜机厂家
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