江苏专业真空镀膜机生产厂家

时间:2021年01月29日 来源:

磁控溅射靶是磁控镀膜的源,必须满足两个条件:一是具有正交的电磁场;二是磁场方向应与阴极靶面平行,形成一个封闭的环形水平磁场。

从阴极靶面发射的电子被加速以获得阴极暗区的能量。由于阴极靶表面存在水平磁场,它们不能直接飞到阳极上。相反,在环形水平磁场形成的等离子体环中,它们按照近似摆线运动轨迹向前运动,电子运动轨迹加长,从而增加了电子与气体分子碰撞的概率。电子的每一次碰撞都会损失一些能量,只有通过能量交换,电子才能脱离磁场的束缚。在能量交换之前,电子会飞约100米,碰撞频率为107次/s,这将提高气体的电离率和阴极靶所能达到的鸟电流密度,从而获得较高的溅射速率。 无锡光润主营真空镀膜机!江苏专业真空镀膜机生产厂家

真空镀膜设备的真空度在一些情况下,它是会出现下降的情况的,那么都是什么原因呢?下面真空镀膜设备厂家分析真空度下降原因。

(1)蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)

(2)坩埚被打穿(更换坩埚)

(3)高压电极密封处被击穿(更换胶圈)

(4)工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

(5)预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

(6)高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

(7)机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否正常)

(8)烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)

(9)挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

(10)玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃) 常用真空镀膜机定制真空镀膜机厂家哪家好?

      真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。真空镀膜机镀铝表面出现有点状痕迹及流痕印迹分析?


   1、氧化层表面有点状痕迹


   (1)预熔时电流过高或未加挡板。应适当降低预熔电流及加设挡板。


   (2)蒸发电流过高。应适当降低。


   2、氧化层表面有流痕印迹


   (1)镀件表面清洁不良。应加强清洁处理。


   (2)擦拭镀件时蘸用乙醇过多。应减少乙醇的蘸用量。


   (3)手指接触镀件表面后留下指印。应禁止手指接触镀件表面。


   (4)唾液喷溅到镀件表面,使镀层表面产生圈状印迹。操作者应带上口罩。



真空镀膜设备的相关特性是什么呢?真空镀膜设备可以为社会提供什么帮助呢?真空镀膜设备对于环境的保护可以起到什么作用呢?

1.真空镀膜设备沉积材料:可沉积铝、钛、锆等湿法电镀无法沉积的低电位金属,通以反应气体和合金靶材更是可以沉积从合金到陶瓷甚至是金刚石的涂层,而且可以根据需要设计涂层体系.

2.真空镀膜设备节约金属材料:由于真空涂层的附着力、致密度、硬度、耐腐蚀性能等相当优良,沉积的镀层可以远远小于常规湿法电镀镀层,达到节约的目的.

3.真空镀膜设备无环境污染:由于所有镀层材料都是在真空环境下通过等离子体沉积在工件表面,没有溶液污染,所以对环境的危害相当小. 真空镀膜机专业售后服务!

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1.真空镀膜设备沉积材料:可沉积铝、钛、锆等湿法电镀无法沉积的低电位金属,通以反应气体和合金靶材更是可以沉积从合金到陶瓷甚至是金刚石的涂层,而且可以根据需要设计涂层体系.

2.真空镀膜设备节约金属材料:由于真空涂层的附着力、致密度、硬度、耐腐蚀性能等相当优良,沉积的镀层可以远远小于常规湿法电镀镀层,达到节约的目的.

3.真空镀膜设备无环境污染:由于所有镀层材料都是在真空环境下通过等离子体沉积在工件表面,没有溶液污染,所以对环境的危害相当小. 上海真空镀膜机厂家,哪家专业?浙江品牌真空镀膜机生产厂家

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霍尔离子源

霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。

霍尔离子源的特点是:

1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例,可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口,收离子束冲击很快会销蚀,尤其对反应气体,一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。

为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的,如一个小的空心阴极源。

霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的Mark I 和 Mark II 离子源。适用的如国产的大部分离子源。

如果镀耐磨装饰膜,膜厚大,需要与机体结合力强,而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大,且离子能级也高。如果是镀光学膜,则主要要求离子电流能级集中,离子电流均匀性好。故建议用Kaufman或RF离子源,有条件的可采用ECR(电子回旋)或ICP(感应耦合)离子源。另外,也要考虑到耗材,如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而离子源如ICP离子源可在反应气体中连续工作几百小时。 江苏专业真空镀膜机生产厂家

无锡光润真空科技有限公司主要经营范围是机械及行业设备,拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。无锡光润真空科技致力于为客户提供良好的真空镀膜机,镀膜机,PVD设备,表面处理设备,一切以用户需求为中心,深受广大客户的欢迎。公司将不断增强企业重点竞争力,努力学习行业知识,遵守行业规范,植根于机械及行业设备行业的发展。无锡光润真空科技秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念,全力打造公司的重点竞争力。

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