番禺区激光干涉仪深度测量

干涉仪分双光束干涉仪和多光束干涉仪两大类，前者有瑞利干涉仪、迈克耳孙干涉仪及其变型泰曼干涉仪、马赫-秦特干涉仪等，后者有法布里-珀luogan涉仪等。干涉仪的应用极为guangfan。长度测量在双光束干涉仪中，若介质折射率均匀且保持恒定，则干涉条纹的移动是由两相干光几何路程之差发生变化所造成，根据条纹的移动数可进行长度的精确比较或juedui测量。迈克耳孙干涉仪和法布里-珀luogan涉仪曾被用来以镉红谱线的波长表示国际米。折射率测定两光束的几何路程保持不变，介质折射率变化也可导致光程差的改变，从而引起条纹移动。瑞利干涉仪就是通过条纹移动来对折射率进行相对测量的典型干涉仪。应用于风洞的马赫-秦特干涉仪被用来对气流折射率的变化进行实时观察。       用于齿轮箱和驱动动力传动系的机械负载测试的运动跟踪！番禺区激光干涉仪深度测量

激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床:双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。数控机床动态性能检测利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等。       番禺区激光干涉仪深度测量超长距离测量，齿轮传动间隙测量。

(3)非接触测头以及各种扫描探针显微镜。航空航天行业对此已经提出迫切要求，这是今后坐标测量机发展的关键技术。目前接触式测头已完全被国外所垄断，非接触测头还没有发展成熟，我们有参与竞争的机遇。以前较多采用的激光三角法原理受到很多限制，难以有突破性进展，但可在原理创新上下功夫。应该突破0.1～0.5μm分辨率。(5)新器件，新材料。过去，科研评价体系存在偏重于整机和系统，忽视材料和器件的趋向。新的突破点可能出现在新光源、新型高频探测器。目前探测器的响应频率只有10的9次方，而光频高达10的14次方，目前干涉仪实际上是起着混频器的作用，适应探测器的不足(如果探测器的响应果真能超过光频，干涉仪也就没有用了)。如果探测器的性能得到显著提高，对于通讯也是很大的突破。       

用作高分辨率光谱仪。法布里-珀luogan涉仪等多光束干涉仪具有很尖锐的干涉极大，因而有极高的光谱分辨率，常用作光谱的精细结构和超精细结构分析。历史上的作用。19世纪的波动论者认为光波或电磁波必须在弹性介质中才得以传播，这种假想的弹性介质称为以太。人们做了一系列实验来验证以太的存在并探求其属性。以干涉原理为基础的实验极为精确，其中极有名的是菲佐实验和迈克耳孙-莫雷实验。1851年，A.H.L.菲佐用特别设计的干涉仪做了关于运动介质中的光速的实验，以验明运动介质是否曳引以太。1887年，A.A.迈克耳孙和E.W.莫雷合作利用迈克耳孙干涉仪试图检测地球相对juedui静止的以太的运动。对以太的研究为A.爱因斯坦的狭义相对论提供了佐证。      为展示IDS3010在测量短距离和长距离位移方面的优势!

客户经常打电话咨询干涉仪，看到中间仪器有激光干涉仪和白光干涉仪，不知道哪一个能满足自己的需求？虽然激光干涉仪和白光干涉仪都属于干涉仪的类别，但两者之间的区别可能很大！

激光干涉仪的工作原理

激光干涉仪激光束(圆偏振光)分为两束激光(线偏振光)；

两束激光分别通过角锥反射镜A和角锥反射镜B由于两束激光频率相同，振动方向相同，相位差恒定，反射后平行于出射光(红线)返回，分光镜后叠加。

测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。激光干涉仪应用于机床、电机、滑台、模块、自动化设备、机器人等领域。

白光干涉仪的工作原理

光源发出的光通过分光棱镜分为两束，一束通过测量表面反射，另一束通过参考镜反射，两束反射光聚集干扰，通过测量干涉条纹的变化来测量表面的三维形状。用白光干涉仪测量三维微观形状。

可广泛应用于半导体制造和封装工艺检测3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件等超精密加工行业和航空航天、科研机构等领域。 IDS3010的分辨率，比低重量加速器，高一个数量级。番禺区激光干涉仪深度测量

世界各国都十分重视这一领域的发展。番禺区激光干涉仪深度测量

利用不同构形的弹性敏感元件可测量各种物体的应力、应变、压力、扭矩、加速度等机械量。半导体应变片与电阻应变片(见电阻应变片相比，具有灵敏系数高（约高 50～100倍）、机械滞后小、体积小、耗电少等优点。P型和N型硅的灵敏系数符号相反，适于接成电桥的相邻两臂测量同一应力。早期的半导体应变片采用机械加工、化学腐蚀等方法制成，称为体型半导体应变片。它的缺点是电阻和灵敏系数的温度系数大、非线性大和分散性大等。这曾限制了它的应用和发展。自70年代以来，随着半导体集成电路工艺的迅速发展，相继出现扩散型、外延型和薄膜型半导体应变片，上述缺点得到一定克服。半导体应变片主要应用于飞机、导弹、车辆、船舶、机床、桥梁等各种设备的机械量测量。番禺区激光干涉仪深度测量