广州高精度激光干涉仪

干涉仪主要特点

1.同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器3.可选的无线遥控传感器极长的控制距离可到25米4.可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性5.全套系统重量只15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架6.集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。8、激光干涉仪的光源——激光，具有gao qiang度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。 基于压电的定位器（顶部）只在x轴上移动（5 nm步长）。广州高精度激光干涉仪

在物理学家关于气体或其他有重物体所形成的理论观念同麦克斯韦关于所谓空虚空间中的电磁过程的理论之间，有着深刻的形式上的分歧。这就是，我们认为一个物体的状态是由数目很大但还是有限个数的原子和电子的坐标和速度来完全确定的；与此相反，为了确定一个空间的电磁状态，我们就需要用连续的空间函数，因此，为了完全确定一个空间的电磁状态，就不能认为有限个数的物理量就足够了。按照麦克斯韦的理论，对于一切纯电磁现象因而也对于光来说，应当把能量看作是连续的空间函数，而按照物理学家的看法，一个有重客体的能量，则应当用其中原子和电子所带能量的总和来表示。一个有重物体的能量不可能分成任意多个、任意小的部分，而按照光的麦克斯韦理论（或者更一般地说，按照任何波动理论），从一个点光源发射出来的光束的能量，则是在一个不断增大的体积中连续地分布的。北京激光干涉仪形貌测量振动分析有助于检测共振频率。

(4)计算机辅助测量理论。信号处理系统的标准化、模块化、兼容和集成。例如，目前多数采用ISA总线、IEEE488口，今后计算机可能取消ISA总线，用于笔记本电脑的USB接口将广泛应用。过去，中国生产的仪器满足于数字显示，没有数据交换接口，难以进入国际市场。国外生产的仪器普遍配备IEEE488(GPIB)口。RS232：目前有可能成为替代物的高性能标准是USB、IEEE1394和VXI。在此转折期为我们提供了机遇。目前虚拟仪器的工作频段在千赫数量级，对于干涉信号处理显得太低，可以采取联合互补的方法形成模块系列，同时降低成本，从总体上提高研发工作的效率。根据已有基础，发展特长，有利于克服重复研究。

检验周期规定

A.控制盘和配电盘仪表的定期检验应与该仪表所连接的主要设备的大修日期一致，不应延误。但主要设备主要线路的仪表应每年检验一次，其它盘的仪表每四年至少检验一次；

B.对运行中设备的控制盘仪表的指示发生疑问时，可用标准仪表在其工作点上用比较法进行核对；

C.可携式仪表(包括台表)的检验，每年至少一次，常用的仪表每半年至少一次。经两次以上检验，证明质量好的仪表，可以延长检验期一倍。D.万用电表、钳形表每四年至少检验一次。兆欧表和接地电阻测定器每二年至少检验一次，但用于高压电路使用的钳形表和作吸收比用的兆欧表每年至少检验一次。 检测轴承误差在±5μm之间，由轴承误差引起。

电测量指示仪表的分类可分为：（1）按相别分：单相、三相三线、三相四线等。（2）按功能及用途分：有功电表、无功电表、比较大需量表、复费率电表、多功能电表、铜损表、铁损表等。（3）按工作原理分：感应式、电子式、机电式等。电力系统各类电表的技术要求（1）接入中注点绝缘系统的电能计量装置，应采用三相三线有功、无功电表。接入非中性点绝缘系统的电能计量装置，应采用三相四线有功、无功电表或3只感应式无止逆单相电表。（2）接入中性点绝缘系统的3台电压互感器，35kV及以上的宜采用Y/y方式接线；35kV以下的宜采用V/V方式接线。接入非中性点绝缘系统的3台电压互感器，宜采用Y0/y0方式接线。其一次侧接地方式和系统接地方式相一致。（3）低压供电，负荷电流为50A 及以下时，宜采用直接接入式电表；负荷电流为50A以上时，宜采用经电流互感器接入式的接线方式。（4）对三相三线制接线的电能计量装置，其2台电流互感器二次绕组与电表之间宜采用四线连接。对三相四线制连接的电能计量装置，其3台电流互感器二次绕组与电表之间宜采用六线连接。但IDS3010干涉仪可诊断非接触式pm位移@ 10 MHz 安装的高功率激光反射镜。佛山粗糙度激光干涉仪

实时通讯接口：HSSL，AquadB和Sin / Cos。广州高精度激光干涉仪

5 指针不应弯曲，与标度盘表面间的距离要适当。对装有反射镜式读数装置的仪表应不大于(0.02L+1)MM；其余仪表应不大于(0.01L+1)MM。指针与标度尺在同一水平面上的仪表，其指针前列与标度尺边缘的间隙应不超过(0.01L+0.8)MM。其中L 是标度尺长度，MM。刀形和丝形指针的前列至少应盖住标度尺上较短分度线的1/2，矛形指针可为1/2～3/4；

6 检查有无封印，外壳密封是否良好。

三相仪表应在对称电压和平衡负载的条件下检验。三相系统中每一个线电压或相电压以及电流与系统中相应量的平均值之差均不应大于1%。各个相电流与对应相电压的相位差之间的差值不大于2°。 广州高精度激光干涉仪